"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Выращивание пленок ZnSe на GaAs (100) методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии
Коваленко А.В.1
1Днепропетровский государственный университет, Днепропетровск, Украина
Поступила в редакцию: 11 января 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.

Эпитаксиальные пленки ZnSe на GaAs (100) были выращены методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии с использованием источника УРС-55а (излучение CuKalpha; lambda=1.542 Angstrem; P~1-3 мВт/см2) из порошкового сырья в токе очищенного водорода. Исследованы различия в спектрах фотолюминесценции и экситонного отражения монокристаллических пленок ZnSe на GaAs (100) при T=4.5 K, испытывающих деформацию сжатия и выращенных методами рентгеностимулированной газофазной эпитаксии и обычной газофазной эпитаксии. Полученные результаты указывают на улучшение кристаллической структуры эпитаксиального слоя, полученного методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии. Это подтверждается и данными ретгенодифракционного анализа. Обнаруженные эффекты объясняются рентгеноактивационными процессами адсорбции и десорбции, изменением проверхностной подвижности адсорбированных атомов.
  1. J. Gutowski, N. Presser, G. Kudlek. Phys. St. Sol. (a), 120, 11 (1990)
  2. I. Yao, M. Fujimoto, S. Chang, M. Tanino. J. Cryst. Growth, 111, 823 (1991)
  3. M. Umar-Syed, P. Lilley. J. Cryst. Growth, 88, 415 (1988)
  4. А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко, Н.В. Бондарь, В.В. Тищенко, Ю.М. Щекочихин, С.М. Румянцева, И.С. Малашенко. ФТП, 26, 1251 (1992)
  5. А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко, В.В. Тищенко, Н.В. Бондарь. ФТТ, 36, 1350 (1994)
  6. N. Matsumura, T. Fukada, J. Saraie. J. Cryst. Growth, 101, 61 (1990)
  7. S. Fujita, A. Tanabe, T. Kinoshita, S. Fujita. J. Cryst. Growth, 101, 48 (1990)
  8. T. Matsumoto, S. Yoshida, T. Ishida. Japan. J. Appl. Phys., 25, L413 (1986)
  9. Н.В. Бондарь, А.В. Коваленко, В.В. Тищенко, А.Ю. Мекекечко. Неорг. матер., 27, 2520 (1991)
  10. А.В. Коваленко, Р. Лиллей. Неорг. матер., 28, 49 (1992)
  11. K. Shahzad, D. Olego, D. Cammack. J. Cryst. Growth, 101, 763 (1990)
  12. K. Shahzad, D. Olego, D. Cammack. Phys. Rev. B, 39, 13016 (1989)
  13. M.C. Бродин, В.В. Тищенко, Н.В. Бондарь, А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко. УФЖ, 37, 1803 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.