Выращивание пленок ZnSe на GaAs (100) методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии
Коваленко А.В.1
1Днепропетровский государственный университет, Днепропетровск, Украина
Поступила в редакцию: 11 января 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Эпитаксиальные пленки ZnSe на GaAs (100) были выращены методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии с использованием источника УРС-55а (излучение CuKalpha; lambda=1.542 Angstrem; P~1-3 мВт/см2) из порошкового сырья в токе очищенного водорода. Исследованы различия в спектрах фотолюминесценции и экситонного отражения монокристаллических пленок ZnSe на GaAs (100) при T=4.5 K, испытывающих деформацию сжатия и выращенных методами рентгеностимулированной газофазной эпитаксии и обычной газофазной эпитаксии. Полученные результаты указывают на улучшение кристаллической структуры эпитаксиального слоя, полученного методом рентгеностимулированной газофазной эпитаксии. Это подтверждается и данными ретгенодифракционного анализа. Обнаруженные эффекты объясняются рентгеноактивационными процессами адсорбции и десорбции, изменением проверхностной подвижности адсорбированных атомов.
- J. Gutowski, N. Presser, G. Kudlek. Phys. St. Sol. (a), 120, 11 (1990)
- I. Yao, M. Fujimoto, S. Chang, M. Tanino. J. Cryst. Growth, 111, 823 (1991)
- M. Umar-Syed, P. Lilley. J. Cryst. Growth, 88, 415 (1988)
- А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко, Н.В. Бондарь, В.В. Тищенко, Ю.М. Щекочихин, С.М. Румянцева, И.С. Малашенко. ФТП, 26, 1251 (1992)
- А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко, В.В. Тищенко, Н.В. Бондарь. ФТТ, 36, 1350 (1994)
- N. Matsumura, T. Fukada, J. Saraie. J. Cryst. Growth, 101, 61 (1990)
- S. Fujita, A. Tanabe, T. Kinoshita, S. Fujita. J. Cryst. Growth, 101, 48 (1990)
- T. Matsumoto, S. Yoshida, T. Ishida. Japan. J. Appl. Phys., 25, L413 (1986)
- Н.В. Бондарь, А.В. Коваленко, В.В. Тищенко, А.Ю. Мекекечко. Неорг. матер., 27, 2520 (1991)
- А.В. Коваленко, Р. Лиллей. Неорг. матер., 28, 49 (1992)
- K. Shahzad, D. Olego, D. Cammack. J. Cryst. Growth, 101, 763 (1990)
- K. Shahzad, D. Olego, D. Cammack. Phys. Rev. B, 39, 13016 (1989)
- M.C. Бродин, В.В. Тищенко, Н.В. Бондарь, А.В. Коваленко, А.Ю. Мекекечко. УФЖ, 37, 1803 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2023 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук