"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Аномальное распределение германия, имплантированного в диэлектрический слой структуры КНИ, после отжига радиационных дефектов
Панкратов Е.Л.1, Гуськова О.П.2, Дроздов М.Н.3, Абросимова Н.Д.2, Воротынцев В.М.4
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород, Россия
3Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
4Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Исследован профиль распределения германия в структуре Si/SiO2/Si после имплантации 74Ge в диэлектрический слой SiO2, сращивания с приборным слоем Si и высокотемпературного отжига. Обнаружены аномально высокий перенос и накопление атомов 74Ge у границы SiO2/Si, удаленной от границы сращивания. Наблюдаемое распределение 74Ge не укладывается в рамки существующей модели диффузии Ge в Si и SiO2 при постимплантационном отжиге. Предложена модифицированная модель диффузии атомов Ge вблизи границ Si/SiO2, качественно объясняющая наблюдаемые особенности.
  1. И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков, В.П. Попов. ФТП, 41, 301 (2007)
  2. A. Markwitz, L. Rebohle, H. Hofmeister. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 147, 361 (1999)
  3. О.П. Гуськова, В.М. Воротынцев, Е.Л. Шоболов, Н.Д. Абросимова. ФТП, 46 (4), (2012)
  4. И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков. ФТП, 43, 58 (2009)
  5. M. Ogino, Y. Oana, M. Watanabe. Phys. Status. Solidi A, 72, 535 (1982)
  6. А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приложениях (Киев, Наук. думка, 1981)
  7. Г. Карслоу, Д. Егер. Теплопроводность твердых тел (М., Наука, 1964)
  8. E.L. Pankratov. Phys. Rev. B, 72,075 201 (2005)
  9. E.L. Pankratov. J. Comp. Theor. Nanosci. 9, 41 (2012)
  10. E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Int. J. Nanosci. 11, 1250 028 (2012)
  11. E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Rev. Theoretical Sci., 1, 58 (2013)
  12. А.Н. Тихонов, А.А. Самарский. Уравнения математической физики (М., Наука, 1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.