"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование встроенного потенциала в кристаллах кремния (100) при СВЧ плазменной микрообработке
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 30 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2014 г.

Приведены результаты исследований закономерностей влияния на электронные свойства поверхности монокристаллов кремния кристаллографической ориентации (100) с естественным оксидным покрытием низкоэнергетичной СВЧ плазменной микрообработки в различных плазмообразующих средах. Рассмотрены модельные механизмы процессов и факторы, обеспечивающие устойчивую модификацию электронных свойств поверхности кристаллов кремния за счет формирования встроенных поверхностных потенциалов, определяемых химической активностью используемых рабочих газов при плазменной микрообработке в условиях слабой адсорбции. Показана принципиальная возможность активного формирования электронных свойств поверхности полупроводниковых кристаллов с целью расширения их электрофизических и функциональных свойств.
  1. К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности (М., Наука, 2006)
  2. В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроводников (М., Наука, 1977)
  3. Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов (М., Энергоатомиздат, 1987)
  4. Г.Г. Дворянкина, А.А. Телегин, В.Ф. Дворянкин, А.Г. Петров, Л.Г. Кяргинская, Н.М. Ушаков, С.Ф. Аверин, В.Э. Выдуц, В.И. Петросян, Б.Б. Эленкриг. Микроэлектроника, 18 (5), 412 (1989)
  5. Н.М. Ушаков, С.А. Терентьев, Р.К. Яфаров. Письма ЖТФ, 28 (15), 10 (2002)
  6. Технология СБИС: В 2-х кн. Пер. с англ. под ред. С. Зи (М., Мир, 1985)
  7. В.Я. Шаныгин, Р.К. Яфаров. ЖТФ, 79 (12), 73 (2009)
  8. Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (М., Физматлит, 2009)
  9. Д.В. Будко, Р.К. Яфаров. Тез. докл. VI Всеросс. конф. молодых ученых "Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика" (Саратов. 13-15 сентября 2011) с. 13

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.