"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние ионного легирования на фотолюминесценцию в кремнии, связанную с дислокациями, сформированными путем имплантации ионов Si+
Михайлов А.Н.1, Белов А.И.1, Королев Д.С.1, Тимофеева А.О.1, Васильев В.К.1, Шушунов А.Н.1, Бобров А.И.1, Павлов Д.А.1, Тетельбаум Д.И.1, Шек Е.И.2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 20 января 2014 г.

Исследовано влияние дополнительной имплантации примесных ионов С+, О+, В+, Р+ и Ge+ с отжигом при 800oС на поведение линии дислокационной фотолюминесценции D1, полученной в образцах кремния путем имплантации ионов Si+ в условиях стабилизации температуры с последующим отжигом в окислительной хлорсодержащей атмосфере. Установлено, что интенсивность линии D1 существенно зависит от типа внедряемых атомов и дозы имплантации. Повышение интенсивности линии D1 наблюдается при имплантации кислорода и бора, тогда как в остальных случаях фотолюминесценция ослабляется. Обсуждаются механизмы такого поведения, в частности роль кислорода и его взаимодействия с имплантируемыми примесями.
  1. Н.А. Соболев. ФТП, 44 (1), 3 (2010)
  2. Электронные свойства дислокаций в полупроводниках, под ред. Ю.А. Осипьяна (М., Эдиториал УРСС, 2000)
  3. A.T. Blumenau, R. Jones, S. Oberg, P.R. Briddon, T. Frauenheim. Phys. Rev. Lett., 87, 187 404 (2001)
  4. V.V. Kveder, E.A. Steinman, S.A. Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 51, 10 520 (1995)
  5. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, Р.Н. Кютт, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, В.В. Афросимов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 45 (9), 1182 (2011)
  6. N.A. Sobolev, A.E. Kalyadin, E.I. Shek, V.I. Vdovin, D.I. Tetel'baum, L.I. Khirunenko. Solid State Phenomena, 178-179, 341 (2011)
  7. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 268, 1818 (2010)
  8. A.N. Mikhaylov, D.I. Tetelbaum, V.A. Burdov O.N. Gorshkov, A.I. Belov, D.A. Kambarov, V.A. Belyakov, V.K. Vasiliev, A.I. Kovalev, D.M. Gaponova. J. Nanosci. Nanotechnol., 8, 780 (2008)
  9. L. Pelaz, M. Jaraiz, G.H. Gilmer, H.-J. Gossmann, C.S. Rafferty, D.J. Eaglesham, J.M. Poate. Appl. Phys. Lett., 70, 2285 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.