"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Состояния водорода и механизмы пассивации примесей и радиационных дефектов в кристаллическом кремнии
Мукашев Б.Н., Тамендаров М.Ф., Токмолдин С.Ж.
Выставление онлайн: 20 мая 1992 г.

Проведены исследования состояний атомарного водорода в кремнии и его влияния на процессы пассивации и перестройки энергетических уровней примесей и радиационных дефектов. Показано, что водород является бистабильной примесью и локализуется в тетраэдрическом (T) междоузлии в состояниях H-T/H0T (Ec-0.2 эВ) и H0T/H+T (Ev+0.3 эВ) и в центре Si-Si-связи в состоянии HBC0/H+BC (Ec-0.16 эВ). Предложены модели пассивации мелких доноров и акцепторов, дефектов вакансионного типа, а также атомов переходных металлов и серы.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.