"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние атмосферы термообработки на диффузию алюминия в кремнии
Грессеров Б.Н.1, Соболев Н.А.1, Выжигин Ю.В.1, Елисеев В.В.1, Ликунова В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Выставление онлайн: 19 апреля 1991 г.

Установлено, что при диффузии алюминия из поверхностного источника в кремний со шлифованной поверхностью в атмосфере азота в отличие от атмосферы сухого кислорода концентрационный профиль не описывается функцией Гаусса или дополнительной функцией ошибок. Наблюдавшиеся увеличение концентрации алюминия в приповерхностной области и уменьшение глубины проникновения при диффузии в атмосфере азота по сравнению с диффузией в атмосфере сухого кислорода объясняются пересыщением кремния вакансиями и недосыщением межузлиями при диффузии в атмосфере азота, и наоборот, пересыщением кремния межузлиями и недосыщением вакансиями при диффузии в атмосфере сухого кислорода. Данный вывод подтверждается результатами исследования спектров глубоких уровней, связанных с дефектами, образующимися при диффузии алюминия: при диффузии в атмосфере азота доминируют дефекты, сформированные из вакансий, а при диффузии в атмосфере сухого кислорода --- дефекты, сформированные из собственных межузельных атомов. Предложена модель процесса диффузии алюминия в кремний, основанная на участии собственных точечных дефектов в процессе диффузионного переноса. Установлено, что диффузия алюминия в кремний при температуре 1250oC происходит, главным образом, с участием межузлий, а термодинамически равновесный коэффициент диффузии равен 2·10-11 см2/с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.