"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние легирующей примеси на процесс формирования разупорядоченной области в нейтронно-облученном кремнии
Антонова И.В., Шаймеев С.С.
Выставление онлайн: 19 июня 1990 г.

Рассмотрена модель формирования дивакансионного ядра разупорядоченной области, учитывающая зарядовое состояние вакансий, образованных в каскаде смещений при облучении тяжелыми частицами. Показано, что характерный размер дивакансионного ядра определяется концентрацией легирующей примеси и убывает с возрастанием последней по закону ND-1/2 при прочих равных условиях; полное число дивакансий в ядре разупорядоченной области зависит от концентрации как легирующей, так и специальных примесей и существенно убывает с ростом интенсивности пучка налетающих частиц; при высоких уровнях легирования (ND > 1017-1018 см-3) ядро разупорядоченной области не образуется. Проведена экспериментальная проверка полученных выводов на образцах кремния типа КЭФ, БКЭФ, БКЭФЗ, облученных быстрыми нейтронами дозой 8· 1013-2· 1014 см-2, с интенсивностью пучка 8· 1014-1016 см-2· с-1. Получено хорошее согласие между теоретическими выводами к экспериментальными результатами.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.