"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности формы линии при спектрометрии ионов Si-детекторами
Ильяшенко И.Н.1, Строкан Н.Б.1, Шмидт Б.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики ионных пучков и исследования материалов Исследовательского центра Россендорф, Дрезден, Германия.
Поступила в редакцию: 31 января 1996 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1996 г.

Предлагается модель, объясняющая характерные искажения формы спектральной линии Si-детектора при регистрации тяжелых ионов. Появление группы импульсов в правой (высокоэнергетичной) области амплитудного спектра связывается с рекомбинацией неравновесного заряда. Рекомбинация происходит в приповерхностной области детекторной структуры, где перенос заряда осуществляется путем диффузии. Флуктуации амплитуды сигнала возникают вследствие участия атомов отдачи Si, которые рождают пары электрон--дырка в конкретных сечениях ''входного окна'' детектора. Непосредственно тяжелые ионы производят ионизацию по глубине равномерно, что приводит к определенным потерям заряда, но не сопровождается заметными флуктуациями.
  1. Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Маляренко, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов. Письма ЖТФ, 12, 1254 (1986)
  2. J. Lindhard, V. Nielsen. Phys. Lett., 2, 209 (1962)
  3. E. Steinbauer, P. Bauer, M. Geretschlager, G. Bortels, J.P. Biersack, P. Burger. Nucl. Instrum. Meth. B, 85, 642 (1994)
  4. P.F. Hinrichsen, D.W. Hetherington, S.C. Gujrathi, L. Cliche. Nucl. Instrum. Meth. B, 45, 275 (1990)
  5. N.B. Strokan, V. Eremin, N.I. Tisnek, S.A. Lomashevich. IEEE Trans. NS-19, 362 (1972)
  6. В.К. Еремин, Л.С. Медведев, Н.Б. Строкан. ФТП, 22, 1239 (1988)
  7. А.С. Волков, З.А. Петрушина, З.А. Саимкулов, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 7, 1760 (1973)
  8. Б.М. Будак, А.А. Самарский, А.Н. Тихонов. \it Сборник задач по математической физике (М., Наука, 1972)
  9. \it Ion Implantation. Sciens and Technology, ed. by J.F.Ziegler. (Academic Press, 1984)
  10. Ю. Вайткус, В. Гривицкас. ФТП, 15, 1894 (1981)
  11. W. Seibt, K.E. Sundstrom, P.A. Tove. Nucl. Instrum. Meth., 113, 317 (1973)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.