"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Пленки a-Si:H, осажденные при повышенных температурах методом разложения силана на постоянном токе в магнитном поле
Голикова О.А.1, Кузнецов А.Н.1, Кудоярова В.Х.1, Казанин М.М.1
1Физико-техничекий институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

Метод разложения силана на постоянном токе в магнитом поле впервые испытан для получения пленок нелегированного a-Si:H при температурах осаждения 300/400oC. Показано, что оптимизация параметров процесса позволяет получить материал приборного качества с содержанием водорода до 2 ат%. Примененный метод обеспечивает варьирование значения микроструктурного параметра R, характеризующего соотношение SiH- и SH2-связей, в интервале 0-1.0.
  1. О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
  2. G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3881 (1993)
  3. U. Kroll, J. Maier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shah, Ch. Hollenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
  4. N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
  5. V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldin. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 71 (1993)
  6. R. Zedlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 83 (1993)
  7. M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 191 (1991)
  8. J.R. Liang, N. Maley, J.R. Abelson. J. Appl. Phys., 75, 3704 (1994)
  9. R. Meaudre, M. Meaudre, S.Vignoli, P. Roca i Cabarrocas, Y. Bouizem, M.L. Theve. Phil. Mag. B, 67, 4978 (1993)
  10. S.J. Jones, Y. Chen, D.L. Willamon, U. Kroll, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 119 (1993)
  11. F.D. Emichelis, A. Tagliaferro. Phil. Mag. B, 61, 867 (1990)
  12. V. Marachonov, N.A. Rogachev, E.I. Terukov, J.T. Ishkalov, V.E. Chelnokov. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 817 (1991)
  13. R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S. Nag, R.W. Collins, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
  14. W. Grevendonk, M. Verluyten, J. Dauwen, G.J. Adriaenssens, J. Bezemer. Phil. Mag. B, 61, 393 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.