"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Термоактивационная спектроскопия малых количеств мелких сопутствующих примесей в легированном слабо компенсированном кремнии
Леотин Ж.1, Рыльков В.В.1
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 2 августа 1995 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1996 г.

На примере Si : Ga с уровнем легирования (2/ 3)· 1016 см-3 и низким содержанием остаточных примесей, =< 1013 см-3, изучены возможности метода термостимулированной проводимости для выявления малых количеств более мелких, чем основная, сопутствующих примесей. Измерения термостимулированной проводимости проводились в области температур T=4.2/ 24 K в греющих электрических полях E=200/ 300 В/см после фотовозбуждения образцов излучением из области примесного поглощения. При T~= 18 K кривые термостимулированной проводимости обнаруживают пик, который, как показано, связан с термическим опустошением уровней сопутствующей примеси бора. Показано также, что в случае линейной рекомбинации метод термостимулированной проводимости весьма эффективен как для установления химической природы сопутствующих примесей, так и для определения концентрации, а также для исследования влияния сильных электрических полей на параметры сопутствующих примесей.
  1. C.E. Jones, D. Schaber, W. Scott, R.J. Hager. J. Appl. Phys., 52, 5148 (1981)
  2. F.S. Szmulovicz, T. Bloch Kenneth. Phys. Rev. B, 38, 8480 (1988)
  3. N. Sclar. Prog. Quant. Electron, 9, 149 (1984)
  4. А.С. Веденеев, Г.И. Воронкова, А.Г. Ждан, Ш.М. Коган, Т.М. Лифшиц, В.В. Рыльков. ФТП, 22, 586 (1988)
  5. А.Г. Ждан, Н.А. Лушников. ФТП, 13, 1003 (1979)
  6. Н.А. Лушников, А.Г. Ждан, В.Б. Сандомирский. ФТП, 13, 417 (1979)
  7. R. Chen, Y. Kirsh. \it Analysis of thermally stimulated processes (Pergamon, 1981)
  8. А.Г. Ждан, В.Б. Сандомирский, А.Д. Ожередов, Г.Н. Яковлева. ФТП, 3, 1755 (1969)
  9. Т.М. Лифшиц. ПТЭ, вып. 1, 10 (1993)
  10. А.Г. Ждан, А.М. Козлов, С.Н. Клемин, В.В. Рыльков. ПТЭ, вып. 2, 189 (1994)
  11. В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. ФТП, 12, 3 (1978)
  12. В.Н. Абакумов, П.Н. Крещук, И.Н. Яссиевич. ФТП, 12, 264 (1978)
  13. Э.Э. Годик. Автореф. докт. дис. (М., 1980)
  14. S. Pasquier, G. Sirmain, C. Meny, A. Murray, M. Griffin, L. Essaleh, J. Galibert, J. Leotin. \it Proc. 8th Int. Conf. on "Millemeter and submillemeter waves and applications" (San Diego, 1994) p. 35

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.