Термоактивационная спектроскопия малых количеств мелких сопутствующих примесей в легированном слабо компенсированном кремнии
Леотин Ж.1, Рыльков В.В.1
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
Выставление онлайн: 20 июля 1996 г.
На примере Si : Ga с уровнем легирования (2/ 3)· 1016 см-3 и низким содержанием остаточных примесей, =< 1013 см-3, изучены возможности метода термостимулированной проводимости для выявления малых количеств более мелких, чем основная, сопутствующих примесей. Измерения термостимулированной проводимости проводились в области температур T=4.2/ 24 K в греющих электрических полях E=200/ 300 В/см после фотовозбуждения образцов излучением из области примесного поглощения. При T~= 18 K кривые термостимулированной проводимости обнаруживают пик, который, как показано, связан с термическим опустошением уровней сопутствующей примеси бора. Показано также, что в случае линейной рекомбинации метод термостимулированной проводимости весьма эффективен как для установления химической природы сопутствующих примесей, так и для определения концентрации, а также для исследования влияния сильных электрических полей на параметры сопутствующих примесей.
- C.E. Jones, D. Schaber, W. Scott, R.J. Hager. J. Appl. Phys., 52, 5148 (1981)
- F.S. Szmulovicz, T. Bloch Kenneth. Phys. Rev. B, 38, 8480 (1988)
- N. Sclar. Prog. Quant. Electron, 9, 149 (1984)
- А.С. Веденеев, Г.И. Воронкова, А.Г. Ждан, Ш.М. Коган, Т.М. Лифшиц, В.В. Рыльков. ФТП, 22, 586 (1988)
- А.Г. Ждан, Н.А. Лушников. ФТП, 13, 1003 (1979)
- Н.А. Лушников, А.Г. Ждан, В.Б. Сандомирский. ФТП, 13, 417 (1979)
- R. Chen, Y. Kirsh. \it Analysis of thermally stimulated processes (Pergamon, 1981)
- А.Г. Ждан, В.Б. Сандомирский, А.Д. Ожередов, Г.Н. Яковлева. ФТП, 3, 1755 (1969)
- Т.М. Лифшиц. ПТЭ, вып. 1, 10 (1993)
- А.Г. Ждан, А.М. Козлов, С.Н. Клемин, В.В. Рыльков. ПТЭ, вып. 2, 189 (1994)
- В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. ФТП, 12, 3 (1978)
- В.Н. Абакумов, П.Н. Крещук, И.Н. Яссиевич. ФТП, 12, 264 (1978)
- Э.Э. Годик. Автореф. докт. дис. (М., 1980)
- S. Pasquier, G. Sirmain, C. Meny, A. Murray, M. Griffin, L. Essaleh, J. Galibert, J. Leotin. \it Proc. 8th Int. Conf. on "Millemeter and submillemeter waves and applications" (San Diego, 1994) p. 35
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук