Вышедшие номера
Структурная модификация пленок аморфного гидрогенизированного кремния при использовании ультрафиолетового излучения
Попов И.А.1
1Московский энергетический институт, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 сентября 1994 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния зависят как от химического состава, так и от структурных особенностей. Предлагается метод управления свойствами пленок a-Si:H путем модификации подсистемы дефектных состояний. Наблюдаемые эффекты рассматриваются в рамках модели локализованных фононов.