"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Структурная модификация пленок аморфного гидрогенизированного кремния при использовании ультрафиолетового излучения
Попов И.А.1
1Московский энергетический институт, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 сентября 1994 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния зависят как от химического состава, так и от структурных особенностей. Предлагается метод управления свойствами пленок a-Si:H путем модификации подсистемы дефектных состояний. Наблюдаемые эффекты рассматриваются в рамках модели локализованных фононов.
  1. О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  2. А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, Д.А. Стряхилев. ФТП, 25, 1802 (1991)
  3. A.I. Popov, N.I. Michalev, V.K. Shemetova. Phil. Mag. B, 47, 73 (1983)
  4. D. Adler. In: \it Physical properties of amorphous materials, ed by D.Alder (Plenum Press, 1985)
  5. P. Bruecsch. \it Phonons: Theory and Experiments, II (Springer Verlag, 1986)
  6. G. Lucovshy. In: \it Physical properties of amorphous materials, ed by D.Alder (Plenum Press, 1985)
  7. D.N. Payton, W.M. Vischer. Phys. Rev., 154, 802 (1967)
  8. G. Gautman, D. Joydeep, R. Swati, A.K. Barua. Appl. Phys. Lett., 55, 1975 (1989)
  9. И.А. Попов, В.А. Рудаков, Б.П. Черноротов. Мат. сем. \it"Аморфные гидрированные полупроводники" (Л., 1991) с. 61
  10. Э.Н. Воронков, И.А. Попов, Б.П. Черноротов. Мат. сем. \it"Аморфные гидрированные полупроводники" (Л., 1991) с. 88
  11. И.А. Попов, К.В. Рязанов. Мат. сем. \it"Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (М., МНТОРЭС, 1993) с. 63
  12. И.А. Попов, Л.Д. Назарова. ФТП, 28, 975 (1994)
  13. Б.И. Казуров, Э.Н. Воронков, И.А. Попов, Б.П. Черноротов. Электронная промышленность, N 3, 25 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.