"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Пленки аморфного гидрированного кремния, осажденные при повышенных температурах
Голикова О.А.1, Казанин М.М.1, Коньков О.И.1, Кудоярова В.Х.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Представлены результаты исследования оптических, электрических и структурных свойств пленок нелегированного a-Si : H, полученных методом тлеющего разряда при температурах Ts=200/400oC. Использовались реакторы разных типов (диод или триод), различное содержание SiH4 в газовой смеси, разные газы--разбавители (Ar, He, H2). Материал a-Si : H приборного качества с низким содержанием водорода ( C~ 3 ат.%) получен при Ts=400oC, когда другие параметры и условия эксперимента были оптимизированы.
  1. R.A. Street, J. Kakalios, T.M. Hayes. Phys. Rev. B, 34, 3030 (1988)
  2. N. Hata, S. Wagner. J. Appl. Phys., 72, 2857 (1992)
  3. О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, 23, 1737 (1989)
  4. U. Schneider, B. Schroder. In: \it Amorphous Silicon and Related Materials, ed. by H. Fritzsche (World Scientific, Singapore, 1989) p. 687
  5. О.А. Голикова, Э.П. Домашевская, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, В.А. Терехов, С.Н. Тростянский. ФТП, 23, 450 (1989)
  6. О.А. Голикова, Х.Ю. Мавлянов, И.Н. Петров, Р.Г. Яфаев. ФТП, 29, 577 (1995)
  7. H. Dersch, A. Skumanich. N. Amer. Phys. Rev. B, 31, 6913 (1985)
  8. О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  9. M. Yamaguchi, K. Morigaki. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 200 (1991)
  10. J. Yang, X. Xu, S. Guha. MRS Symp. Proc., 336, 687 (1994)
  11. О.А. Голикова, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, П.П. Серегин. ФТП, 21, 1464 (1987)
  12. R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S. Nag, R.W. Collins, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
  13. A. Matsuda, K. Tanaka. J. Appl. Phys., 60, 2351 (1986)
  14. G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
  15. U. Kroll, J. Meier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shan, Ch. Hollenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
  16. N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
  17. V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldwin. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 71 (1993)
  18. R. Zedlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 83 (1993)
  19. M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 191 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.