"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности начальной кинетики накопления термодоноров в кристаллах Si<O>, насыщенных водородом
Маркевич В.П.1, Мурин Л.И.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 20 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Изучены особенности кинетики накопления кислородосодержащих двухзарядных термодоноров при T=427 oC в кристаллах кремния, прошедших предварительный высокотемпературный отжиг в атмосфере H2. Показано, что насыщение кристаллов Si водородом приводит к резкому возрастанию начальной скорости генерации как самих термодоноров, так и центров их зарождения.
  1. J.L. Benton, L.C. Kimerling, M. Stavola. Physica, 116B, 271 (1983)
  2. B.-Y. Mao, J. Lagowski, H.C. Gatos. J. Appl. Phys., 56, 2729 (1984)
  3. Y. Kamiura, F. Hashimoto, K. Endo. J. Appl. Phys., 61, 2478 (1987)
  4. J.L. Lindstrom, H. Weman, G.S. Oehrlein. Phys. St. Sol. (a), 99, 581 (1987)
  5. V.P. Markevich, L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 111, K149 (1989)
  6. L.I. Murin, V.P. Markevich. \it Proc. Int. Conf. on Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, Yokohama, Japan, 1989, Ed. by K.Sumino (North-Holland, Amsterdam, 1990) p. 199
  7. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 262 (1991)
  8. Ю.М. Бабицкий, М.В. Васильева, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, О.А. Ремизов. ФТП, 25, 838 (1991)
  9. V.M. Babich, Yu.P. Dotsenko, N.B. Kovalchuk. Phys. St. Sol. (a), 86, K91 (1984)
  10. R.C. Newman, J.H. Tucker, A.R. Brown, S.A. McQuaid. J. Appl. Phys., 70, 3061 (1991)
  11. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, А.Г. Литвинко. Письма в ЖТФ, 19, 39 91993)
  12. H.J. Stein, S.K. Hahn. J. Appl. Phys., 75, 3477 (1994)
  13. A.N. Safonov, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1994) v. 143--147, p. 903
  14. S.A. McQuaid, R.C. Newman, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 93
  15. Л.Ф. Макаренко, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 19, 1935 (1985)
  16. W. Gotz, G. Pensl, W. Zulehner. Phys. Rev. B, 46, 4312 (1992)
  17. G.D. Watkins. Rev. Sol. St. Sci., 4, Nos 2--3, 279 (1990)
  18. Л.Ф. Макаренко, Л.И. Мурин. ФТП, 20, 1530 (1986)
  19. R.C. Newman, J.H. Tucker, S.A. McQuaid. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 87
  20. S.K. Etreicher. Phys. Rev. B, 41, 9886 (1990)
  21. R. Jones, S. Oberg, A. Umerski. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 551
  22. S.J. Pearton, J.W. Corbett, M. Stavola. \it Hydrogen in Crystalline Semiconductors (Berlin, Springer-Verlag, 1992)
  23. Ф.П. Коршунов, В.П. Маркевич, И.Ф. Медведева, Л.И. Мурин. ДАН Беларуси, 38, N 2, 35 (1994)
  24. V.P. Markevich, M. Suezawa, K. Sumino, L.I. Murin. J. Appl. Phys., 76, 7347 (1994)
  25. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 1737 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.