Особенности начальной кинетики накопления термодоноров в кристаллах Si<O>, насыщенных водородом
Маркевич В.П.1, Мурин Л.И.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 20 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.
Изучены особенности кинетики накопления кислородосодержащих двухзарядных термодоноров при T=427 oC в кристаллах кремния, прошедших предварительный высокотемпературный отжиг в атмосфере H2. Показано, что насыщение кристаллов Si водородом приводит к резкому возрастанию начальной скорости генерации как самих термодоноров, так и центров их зарождения.
- J.L. Benton, L.C. Kimerling, M. Stavola. Physica, 116B, 271 (1983)
- B.-Y. Mao, J. Lagowski, H.C. Gatos. J. Appl. Phys., 56, 2729 (1984)
- Y. Kamiura, F. Hashimoto, K. Endo. J. Appl. Phys., 61, 2478 (1987)
- J.L. Lindstrom, H. Weman, G.S. Oehrlein. Phys. St. Sol. (a), 99, 581 (1987)
- V.P. Markevich, L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 111, K149 (1989)
- L.I. Murin, V.P. Markevich. \it Proc. Int. Conf. on Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, Yokohama, Japan, 1989, Ed. by K.Sumino (North-Holland, Amsterdam, 1990) p. 199
- В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 262 (1991)
- Ю.М. Бабицкий, М.В. Васильева, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, О.А. Ремизов. ФТП, 25, 838 (1991)
- V.M. Babich, Yu.P. Dotsenko, N.B. Kovalchuk. Phys. St. Sol. (a), 86, K91 (1984)
- R.C. Newman, J.H. Tucker, A.R. Brown, S.A. McQuaid. J. Appl. Phys., 70, 3061 (1991)
- В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, А.Г. Литвинко. Письма в ЖТФ, 19, 39 91993)
- H.J. Stein, S.K. Hahn. J. Appl. Phys., 75, 3477 (1994)
- A.N. Safonov, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1994) v. 143--147, p. 903
- S.A. McQuaid, R.C. Newman, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 93
- Л.Ф. Макаренко, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 19, 1935 (1985)
- W. Gotz, G. Pensl, W. Zulehner. Phys. Rev. B, 46, 4312 (1992)
- G.D. Watkins. Rev. Sol. St. Sci., 4, Nos 2--3, 279 (1990)
- Л.Ф. Макаренко, Л.И. Мурин. ФТП, 20, 1530 (1986)
- R.C. Newman, J.H. Tucker, S.A. McQuaid. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 87
- S.K. Etreicher. Phys. Rev. B, 41, 9886 (1990)
- R. Jones, S. Oberg, A. Umerski. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 551
- S.J. Pearton, J.W. Corbett, M. Stavola. \it Hydrogen in Crystalline Semiconductors (Berlin, Springer-Verlag, 1992)
- Ф.П. Коршунов, В.П. Маркевич, И.Ф. Медведева, Л.И. Мурин. ДАН Беларуси, 38, N 2, 35 (1994)
- V.P. Markevich, M. Suezawa, K. Sumino, L.I. Murin. J. Appl. Phys., 76, 7347 (1994)
- В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 1737 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук