Вышедшие номера
Исследование пористого карбида кремния методами колебательной и люминесцентной спектроскопии
Данишевский А.М.1, Шуман В.Б.1, Рогачев А.Ю.1, Иванов П.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Образцы пористого карбида кремния, изготовленные анодным травлением исходных кристаллов 6H-SiC n-типа проводимости, исследованы методами инфракрасного отражения, комбинационного рассеяния, импульсной и непрерывной фотолюминесценции. В пористом слое обнаружена фаза beta-SiC, и сделана попытка найти корреляцию между объемом этой фазы и амплитудой широкой полосы непрерывной красно-зеленой фотолюминесценции, возникающей в пористом слое. Выяснено, что образцы, изготовленные в разных условиях, представляют собой две группы: в одной из них упомянутая корреляция, по-видимому, существует, а в другой она полностью отсутствует. Высказано предположение, что причиной интенсивной фотолюминесценции во второй группе образцов являются некие центры (дефекты), возникающие при травлении.