"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование пористого карбида кремния методами колебательной и люминесцентной спектроскопии
Данишевский А.М.1, Шуман В.Б.1, Рогачев А.Ю.1, Иванов П.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Образцы пористого карбида кремния, изготовленные анодным травлением исходных кристаллов 6H-SiC n-типа проводимости, исследованы методами инфракрасного отражения, комбинационного рассеяния, импульсной и непрерывной фотолюминесценции. В пористом слое обнаружена фаза beta-SiC, и сделана попытка найти корреляцию между объемом этой фазы и амплитудой широкой полосы непрерывной красно-зеленой фотолюминесценции, возникающей в пористом слое. Выяснено, что образцы, изготовленные в разных условиях, представляют собой две группы: в одной из них упомянутая корреляция, по-видимому, существует, а в другой она полностью отсутствует. Высказано предположение, что причиной интенсивной фотолюминесценции во второй группе образцов являются некие центры (дефекты), возникающие при травлении.
  1. J.S. Shor, I. Grimberg, Ben-Zion Weiss, A.D. Kurtz. Appl. Phys. Lett., 22, 2836 (1993)
  2. T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Futagi, H. Mimura, Y. Kanemitsu. Appl. Phys. lett., 64, 226 (1994)
  3. А.А. Лебедев, А.А. Лебедев, Ю.В. Рудь. Письма ЖЭТФ (1995)
  4. R.T. Holm, P.H. Klein, E.R. Nordquist. J. Appl. Phys., 60, 1479 (1976)
  5. S.-L. Zhang, X. Wang. K.-S. Ho. J. Appl. Phys., 76, 3016 (1994)
  6. Дж. Люковски, Н. Поллард. В сб.: \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния (1988) вып. 2, с. 377

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.