"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование структуры газочувствительных слоев диоксида олова, полученных реактивным магнетронным распылением
Вощилова Р.М.1, Димитров Д.П.1, Долотов Н.И.1, Кузьмин А.Р.1, Махин А.В.1, Мошников В.А.1, Таиров Ю.М.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1995 г.

Методом реактивного магнетронного распыления получены пленки диоксида олова. С помощью рентгеновского дифрактометрического анализа исследован фазовый состав пленок, полученных в разных технологических режимах. Сняты температурные зависимости сопротивления отожженных слоев на воздухе и в парах этанола. Показано, что стабилизация в процессе отжига сопротивления и газочувствительных свойств пленок на основе диоксида олова в значительной мере обусловлена формированием стабильной кристаллической структуры чувствительного слоя.
  1. H.P. Hubner, E. Obermeier. Sensors and actuators, 17, 351 (1989)
  2. Н.И. Долотов, А.Б. Зильберман, Ю.Л. Ильин, А.В. Махин, В.А. Мошников, Д.А. Яськов. Неорг. матер., 30, 83 (1994)
  3. Е.В. Андреева, А.Б. Зильберман, Ю.Л. Ильин, А.В. Махин, В.А. Мошников, Д.А. Яськов, ФТП, 27, 1095 (1993)
  4. \it Картотека дифракционных спектров ASTM, NN 21-1250, 6-0395, 4-0673, 7-195, 16-737.
  5. Б.Ф. Ормонт. \it Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников (М., Высш. шк., 1982)
  6. \it Технология тонких пленок, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга (М., Сов. радио, 1977) т. 1
  7. J.A. Marley, R.C. Dockerty, Phys. Rev. A, 40, 307 (1965)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.