"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование структуры поверхности пористого кремния методом ядерного магнитного резонанса
Мамыкин А.И.1, Ильин А.Ю.1, Мошников В.А.1, Мокроусов Н.Е.2, Мамыкин А.А.1, Першин А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Институт микроэлектроники Российской академиии наук,, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 18 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Методом ядерного магнитного резонанса исследованы процессы сорбции молекул воды в слоях пористого кремния для датчиков влажности. Показано, что молекулы воды могут служить чувствительным зондом при изучении структуры и поверхностных свойств пористого кремния. Установлено, что наряду с нанопорами, средний диаметр которых (10-30) нм, слои пористого кремния пронизаны сетью субнанопор со средним диаметром 1.4 нм. Идентифицировано два типа сорбированных пористой поверхностью монослоев воды, в формировании которых доминирующую роль играют субнанопоры.
  1. H.Pfeifer. Phys. Rep., 26, 293 (1976)
  2. Б.Ф. Алексеев, Ю.Ф. Анисимов, А.И. Мамыкин. ПТЭ, N 4, 245 (1985)
  3. В.В. Чистяков, В.Н. Палашов, Н.Е. Мокроусов. \it Тр. ИМ РАН (Ярославль, 1992) с. 100
  4. A.I. Mamykin, A.J. Iljin, V.A. Moshnokov, A.I. Pershin. \it Abstracts of E-MRS 1994 Spring Meeting (Strassbourg, France, 1994) F-V/P14
  5. И.И. Речина, Е.Г. Гук. ФТП, 27, 728 (1993)
  6. М.С. Бреслер, И.Н. Яссиевич. ФТП, 27, 871 (1993)
  7. A.I. Mamykin, A.J. Iljin, V.A. Moshnikov, A.I. Pershin. \it Abstracts of EENC-94 (Oulu, Finland, 1994) p. 93

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.