"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О механизме самоформирования наноразмерных структур пористого кремния при бестоковом водном травлении
Компан М.Е.1, Шабанов И.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 февраля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Рассмотрен механизм самоформирования структуры пористого кремния при бестоковом водном травлении. Показано, что определяющую роль при этом может играть электростатическое взаимодействие носителей заряда в распределенном двойном слое у границы травления.
  1. A. Uhlir. Bell Syst. Techn. J., 35, 333 (1956)
  2. C. Pickering, M.I.J. Beale, D.J. Robbins, P.J. Pearson, R. Greef. J. Phys. C, 17, 6535 (1984)
  3. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  4. A.G. Cullis, L.T. Canham. Nature, 353, 335 (1991)
  5. М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. Письма ЖЭТФ, 59, 678 (1994)
  6. М.Е. Компан, И.И. Новак, И.Ю. Шабанов. ФТТ, 37 (1995)
  7. D.R. Terner. J. Electrochem. Soc., 105, 402 (1958)
  8. R. Memming, G. Schwandt. Surf. Sci., 4, 109 (1966)
  9. М.Е. Компан, И.Ю. Шабанов. ФТТ, 36, 2381 (1994)
  10. M.I.J. Beale, J.D. Benjamin, M.J. Uren, N.G. Chew, A.G. Cullis. J. Cryst. Growth, 73, 622 (1985)
  11. V. Lemann, U. Gesele. Appl. Phys. Lett., 58, 856 (1991)
  12. \it Зарубежная электроника (М., МЭП, 1978) вып. 15 (185)
  13. Б.Б. Дамаскин, О.А. Петрий. \it Введение в электрохимическую кинетику (М., Высш. шк., 1975)
  14. Y. Kato, T. Ito, A. Hiraki. Japan. J. Appl. Phys., 27, L1406 (1988)
  15. Е. Гайлиш, М. Дьяконов, В. Кузнецов, В. Вольфсон. Радио, 59, вып. 5 (1978)
  16. Б.М. Графов, Е.А. Укше. \it Электрохимические цепи переменного тока (М., Наука, 1973)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.