"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О стоках для радиационно-введенных вакансий и межузельных атомов в исходных кристаллах кремния
Баранов А.И.1, Бояркина Н.И.1, Васильев А.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 1 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Экспериментальные зависимости скоростей введения A- и E-центров от концентрации легирующей примеси сравниваются с результатом решения системы уравнений, учитывающих уход вакансий на комплексообразование и на стоки. Делается вывод, что представление о стоках для первичных вакансий и межузельных атомов не объясняет известного расхождения между числом пар Френкеля, запасенных в примесно-дефектных комплексах кристалла и рассчитанных теоретически в предположении о существовании резкого порога дефектообразования.
  1. J.H. Cahn. J. Appl. Phys., 30, 1310 (1959)
  2. \it Физические процессы в облученных полупроводниках, под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, 1977)
  3. Р.Ф. Коноплева, С.Р. Новиков, Э.Э. Рубинова, В.Н. Запорожченко, Л.Н. Никитюк. ФТП, 3, 1119 (1969)
  4. Л.С. Берман, Н.А. Витовский, В.Н. Ломасов, В.Н. Ткаченко. ФТП, 24, 1816 (1990)
  5. W.L. Brown, W.M. Augustyniak, T.R. Waite. J. Appl. Phys., 30, 1258 (1959)
  6. В.В. Емцев, Т.В. Машовец, В.В. Михнович. ФТП, 26, 22 (1992)
  7. V.L. Vinetskii, I.R. Entinzon, G.A. Kholodar. Phys. St. Sol. (a), 76, 477 (1981)
  8. Н.А. Витовский, Д. Мустафакулов, А.П. Чекмарева. ФТП, 11, 1747 (1977)
  9. Л.И. Федина, А.Л. Асеев, С.Л. Денисенко, Л.С. Смирнов. ФТП, 21, 592 (1987)
  10. J.C. Pfister. In: \it Radiation Damage in Semiconductors (Paris--Royaunmont, Dunod, 1965) p. 281
  11. P.V. Kuchinskii, V.M. Lomako. Phys. St. Sol. (a), 102, 653 (1987)
  12. Y. Shi, D.X. Shen, F.M. Wu, K.J. Cheng. J. Appl. Phys., 76, 1116 (1990)
  13. А.И. Баранов, А.В. Васильев, Н.И. Комолова, С.А. Смагулова. ФТП, 17, 1663 (1983)
  14. G.S. Oehrlein, J. Krafcsik, J.L. Lindstrom, A.E. Jaworowski, J.W. Corbett. J. Appl. Phys., 54, 179 (1983)
  15. Е.Ф. Уваров, М.В. Чукичев. Рад. физ. немет. крист. (Киев, Наук. думка, 1971) с 305
  16. H. Saito, M. Hirata. Japan. J. Appl. Phys., 2, 678 (1963)
  17. А.С. Зубрилов, С.В. Ковешников. ФТП, 25, 1332 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.