"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние быстродиффундирующих примесей на кинетику генерации термодоноров в кремнии при 300--500oC
Бахадырханов М.К.1, Аскаров Ш.И.1, Наркулов Н.1, Сражев С.Н.1, Тошбоев Т.У.1
1Ташкентский государственный технический университет им. А.Р.Беруни,, Ташкент, Республика Узбекистан
Поступила в редакцию: 2 августа 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1995 г.

Исследовано влияние быстродиффундирующих примесей --- марганца, железа и хрома на кинетику генерации термодоноров, возникающих в объеме кремния в процессе термоотжига кристаллов в интервале температур 300-500oC. Установлено, что для каждой примеси имеет место определенный интервал температур, в пределах которого они заметно усиливают генерацию термодоноров в кремнии. В частности, для железа усиление генерации термодоноров характерно в интервале температур 300-400oC, а для марганца и хрома этот интервал расположен, соответственно, в пределах 350--450 и 400-500oC. На основе анализа результатов исследований влияния быстродиффундирующих примесей на скорость генерации термодоноров сделано предположение о том, что в состав формирующихся термодефектов быстродиффундирующие примеси входят как активные центры, ответственные за донорные состояния, вносимые термодефектами в запрещенную зону кремния.
  1. C.S. Fuller, I.A. Ditzenberger, N.V. Hannay, E. Buehler. Phys. Rev., 96, 833 (1954)
  2. W. Haiser, H.H. Friseh, H. Reiss. Phys. Rev., 112, 1546 (1958)
  3. B. Pajot, H. Compain, I. Lerouille, B. Clerjaud. Physica B+C, 117--118, 110 (1983)
  4. R. Oeder, P. Wager. Water. Res. Soc. Symp. Proc., 14, 171 (1983)
  5. M. Suezawa, K. Sumino. Phys. St. Sol. (a), 1984, 82, 235 (1984)
  6. М.К. Бахадырханов, Ш.И. Аскаров. Электрон. техн., N 5 (166), N 6 (1982)
  7. К.П. Абдурахманов, Х.С. Далиев, Г.С. Куликов и др. ФТП, 20, 185 (1986)
  8. Б.Л. Эйдельман. ВИНИТИ, 27, 101 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.