"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние марганца на диффузионное распределение никеля в кремнии
Куликов Г.С.1, Чичикалюк Ю.А.1, Юсупова Ш.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 августа 1994 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1995 г.

С использованием радиоактивной методики проведено исследование влияния диффузии марганца из слоя на поверхности кремния на концентрационное распределение 63Ni в кремнии, предварительно легированном никелем диффузионным способом при 1200oC в течение 2 ч. Полученные данные свидетельствуют о резком уменьшении (на порядок) концентрации никеля в объеме кремния в результате повторного отжига образцов со слоем марганца на поверхности, что объясняется геттерирующим эффектом, создаваемым слоем марганца и приповерхностным слоем образца, содержащим кластеры силицидных образований.
  1. E.R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983)
  2. N. Wiehl, U. Herpers, E. Weber. J. Radioanal. Chem., 72, 69 (1982)
  3. Y. Tokumaru. Japan. J. Appl. Phys., 2, 542 (1963)
  4. M. Yoshida, K. Furusho. Japan. J. Appl. Phys., 3, 521 (1964)
  5. H.P. Bonzel. Phys. St. Sol., 20, 493 (1967)
  6. M. Yoshida, K. Saito. Japan. J. Appl. Phys., 6, 573 (1967)
  7. М.К. Бахадырханов. Автореф. канд. дис. (Л., 1971)
  8. H. Kitagawa, K. Hashimoto, M. Yoshida. Japan. J. Appl. Phys., 21, 276 (1982)
  9. В.А. Усков, А.Б. Федотов, А.И. Родионов, Н.С. Думаревская. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 20, 1148 (1984)
  10. Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС (М., 1986)
  11. Г.В. Самсонов, Л.А. Дворина, Б.М. Руд. \it Силициды (М., 1979)
  12. G.J. Huang, L.J. Chen. J. Appl. Phys., 74, 1001 (1993)
  13. W.H. Wang, H.J. Bai. J. Appl. Phys., 74, 2471 (1993)
  14. М.К. Бахадырханов, С. Зейнабидинов, А.Т. Тешабаев, М.А. Ходжаева. ФТП. 20, 1001 (1976)
  15. Р.Ф. Витман, Н.Б. Гусева, А.А. Лебедев, Э.С. Таптыгов. Препринт N 1221, ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН (Л., 1988)
  16. С. Зайнабидинов, К.П. Абдурахманов, А.А. Лебедев, Х.С. Далиев, Ш.Б. Утамурадова, М.Д. Ходжаев, А.Т. Тешабаев. В кн.: \it Свойства легированных полупроводниковых материалов, (М., 1990)
  17. К.П. Абдурахманов, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 25, 1075 (1991)
  18. Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С.Куликов. \it Компенированный кремний, (Л., 1972)
  19. К. Адамбаев, В.К. Зайцев, Т.С. Камилов, Г.С. Куликов, Д.Э. Назыров, С.В. Ордин. Поверхность. Физика, химия, механика, вып. 7, 66 (1988)
  20. К.П. Абдурахманов, Х.С. Далиев, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 27, 1222 (1993)
  21. П.В. Гельд, Ф.А. Сидоренко. \it Силициды переходных металлов четвертого периода (М., 1971)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.