"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Проводимость и оптические свойства периодических структур a-Si:H/ a-SiN x:H
Биленко Д.И.1, Галишникова Ю.Н.1, Жаркова Э.А.1, Колдобанова О.Ю.1, Хасина Е.И.1
1Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им. Н.Г.Чернышевского,, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 12 мая 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.

Сообщаются результаты исследования проводимости и оптических свойств периодических структур a-Si:H/a-SiNx:H и отдельных слоев как в процессе роста, так и после изготовления. Установлено влияние состава слоев в структурах и их толщины на процесс легирования переносом, выбраны условия для получения структур с минимальной плотностью состояний в a-Si:H и высокой проводимостью. Обнаруженная зависимость оптических свойств структур от толщины слоев описывается на основе модели квантовых ям.
  1. T. Tiedje, B. Abeles. Appl. Phys. Lett., \bf45, 179 (1984)
  2. M. Tsukude, S. Akamatsu, S. Miyazaki, M. Hirose. Japan. J. Appl. Phys., \bf26, L111 (1987)
  3. B. Abeles. Superlatt. Microstruct., 5, 473 (1989)
  4. D.I. Bylenko, Y.N. Galishnikova, A.A. Jarkova, O.Y. Koldobanova, I.B. Mysenko, E.I. Khasina. \it Proc. Int. Semicond. Dev. Res. Symp. (1991) p. 758
  5. Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Э.А. Жаркова, О.Ю. Колдобанова, И.И. Николаева. Письма ЖТФ, \bf15, 64 (1989)
  6. П.Х. Бернинг. \it Теория и методы расчета оптических свойств тонких пленок, под ред. Р.Хасса (М., 1967) ч. 1, с. 243
  7. Ю.П. Ситолите. Литов. физ. сб., 51, 207 (1986)
  8. \it Нитрид кремния в электронике, под ред. А.В.Ржанова (Новосибирск, 1982) p. 200
  9. B. Abeles, T. Tiedje. Phys. Rev. Lett., \bf51, 2003 (1983)
  10. F. Demichelis, G. Kamadakis, Thin. Sol. Films, \bf150, 1 (1987)
  11. K. Hattori, T. Mori. Phys. Rev. Lett., \bf60, 825 (1988)
  12. W. Wang, K. Liao. Sol. St. Commun., 62, 749 (1987)
  13. M. Vanv ecv ek, J. Kov cka, J. Stuchilik, A. Triska. Sol. St. Commun., \bf39, 1199 (1981)
  14. Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Э.А. Жаркова, О.Ю. Колдобанова, Е.И. Хасина. Микроэлектроника, \bf18, 36 (1989)
  15. Л.А. Балагуров. ФТТ, 31, 2105 (1989)
  16. J.P. Xanthakis, S. Papadopoulos, P.R. Mason. J. Phys. C, Sol. St. Phys., \bf21, L555 (1989)
  17. R.A. Street, M.J. Thompson, N.M. Johnson, Phil. Mag. B, \bf51, 1 (1985)
  18. J. Kakakios, H. Fritzsche, N. Ibaraki. J. Non-Cryst. Sol., \bf66, 339 (1984)
  19. Л.Д. Ландау, Е.Н. Лифшиц. \it Квантовая механика (М., Наука, 1974)
  20. \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Джоупопулоса и Дж.Люковски (М., 1988)
  21. \it Электронная теория неупорядоченных полупроводников (М., Наука, 1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.