"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние условий отжига на интенсивность фотолюминесценции в Si:Er
Соболев Н.А.1, Бреслер М.С.1, Гусев О.Б.1, Макавийчук М.И.1, Паршин Е.О.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Исследовано влияние температуры, времени и атмосферы, в которой производился отжиг образцов Si:Er на интенсивность фотолюминесценции на длине волны 1.54 мкм. Ионы эрбия с энергией 1 МэВ имплантировались в Si p-типа проводимости. Доза облучения составляла 1013 см-2. Установлено, что интенсивность фотолюминесценции в зависимости от атмосферы отжига увеличивается в последовательности: кислород, аргон, хлорсодержащая атмосфера. Определены оптимальные условия отжига образцов Si:Er в хлорсодержащей атмосфере. Выявлена существенная роль собственных точечных дефектов в образовании оптически активных центров.
  • H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, A. Axmann. Appl. Phys. Lett., \bf 43, 943 (1983)
  • J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferraute, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., \bf 70, 2672 (1991)
  • F.Y.G. Ren, J. Michel, Q. Sun-Paduano, B. Zheng, H. Kitagawa, D.C. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. MRS Symposia Proc., \bf 301, 87 (1993)
  • H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axmann, K. Eisele, W. Haudl, J. Schneider. Appl. Phys. Lett., \bf 46, 381 (1985)
  • H. Efeoglu, J.H. Evans, T.E. Jackman, B. Hamilton, D.C. Houghton, J.M. Langer, A.R. Peaker, D. Perovic, I. Poole, N. Ravel, P. Hemment, C.W. Chen. Semicond. Sci. Techn., \bf 8, 236 (1993)
  • A. Polman, J.C.S. Custer, E. Snoeks, G.N. van den Hoven. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 507 (1993)
  • S. Coffa, F. Priolo, G. Franzo, V. Bellany, A. Carnera, C. Spinella. MRS Symposia Proc., \bf 301, 125 (1993)
  • N.A. Sobolev, O.V. Alexandrov, B.N. Gresserov, G.M. Gusinskii, V.O. Naidenov, E.I. Sheck, V.I. Stepanov, Yu.V. Vyzhigin, L.F. Chepik, E.P. Troshina. Sol. St. Phenomena, \bf 32--33, 83 (1993)
  • A.T. Kurbakov, N.A. Sobolev. Mater. Sci. Eng. B, \bf 22, 149 (1994)
  • N.A. Sobolev, Yu.V. Vyzhigin, B.N. Gresserov, E.I. Sheck, A.I. Kurbakov, E.E. Rubinova, V.A. Trunov. Sol. St. Phenomena, \bf 19--20, 169 (1991)
  • Y.S. Yang, K.C. Heasman, W.P. Gillin, B.J. Sealy. Appl. Phys. Lett., \bf 55, 432 (1989)
  • Ю.В. Выжигин, Н.А. Соболев, Б.Н. Грессеров, Е.И. Шек. ФТП, \bf 26, 1938 (1992)
  • J. Michel, F.Y.G. Ren, B. Zheng, D.C. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. Mater. Sci. Forum, \bf 143--147, 707 (1994)
  • D.A. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., \bf 61, 2181 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.