"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние условий отжига на интенсивность фотолюминесценции в Si:Er
Соболев Н.А.1, Бреслер М.С.1, Гусев О.Б.1, Макавийчук М.И.1, Паршин Е.О.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Исследовано влияние температуры, времени и атмосферы, в которой производился отжиг образцов Si:Er на интенсивность фотолюминесценции на длине волны 1.54 мкм. Ионы эрбия с энергией 1 МэВ имплантировались в Si p-типа проводимости. Доза облучения составляла 1013 см-2. Установлено, что интенсивность фотолюминесценции в зависимости от атмосферы отжига увеличивается в последовательности: кислород, аргон, хлорсодержащая атмосфера. Определены оптимальные условия отжига образцов Si:Er в хлорсодержащей атмосфере. Выявлена существенная роль собственных точечных дефектов в образовании оптически активных центров.
  1. H. Ennen, J. Schneider, G. Pomrenke, A. Axmann. Appl. Phys. Lett., \bf 43, 943 (1983)
  2. J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferraute, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., \bf 70, 2672 (1991)
  3. F.Y.G. Ren, J. Michel, Q. Sun-Paduano, B. Zheng, H. Kitagawa, D.C. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. MRS Symposia Proc., \bf 301, 87 (1993)
  4. H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axmann, K. Eisele, W. Haudl, J. Schneider. Appl. Phys. Lett., \bf 46, 381 (1985)
  5. H. Efeoglu, J.H. Evans, T.E. Jackman, B. Hamilton, D.C. Houghton, J.M. Langer, A.R. Peaker, D. Perovic, I. Poole, N. Ravel, P. Hemment, C.W. Chen. Semicond. Sci. Techn., \bf 8, 236 (1993)
  6. A. Polman, J.C.S. Custer, E. Snoeks, G.N. van den Hoven. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 507 (1993)
  7. S. Coffa, F. Priolo, G. Franzo, V. Bellany, A. Carnera, C. Spinella. MRS Symposia Proc., \bf 301, 125 (1993)
  8. N.A. Sobolev, O.V. Alexandrov, B.N. Gresserov, G.M. Gusinskii, V.O. Naidenov, E.I. Sheck, V.I. Stepanov, Yu.V. Vyzhigin, L.F. Chepik, E.P. Troshina. Sol. St. Phenomena, \bf 32--33, 83 (1993)
  9. A.T. Kurbakov, N.A. Sobolev. Mater. Sci. Eng. B, \bf 22, 149 (1994)
  10. N.A. Sobolev, Yu.V. Vyzhigin, B.N. Gresserov, E.I. Sheck, A.I. Kurbakov, E.E. Rubinova, V.A. Trunov. Sol. St. Phenomena, \bf 19--20, 169 (1991)
  11. Y.S. Yang, K.C. Heasman, W.P. Gillin, B.J. Sealy. Appl. Phys. Lett., \bf 55, 432 (1989)
  12. Ю.В. Выжигин, Н.А. Соболев, Б.Н. Грессеров, Е.И. Шек. ФТП, \bf 26, 1938 (1992)
  13. J. Michel, F.Y.G. Ren, B. Zheng, D.C. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. Mater. Sci. Forum, \bf 143--147, 707 (1994)
  14. D.A. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., \bf 61, 2181 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.