"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности возникновения и свойства дефектов в n-кремнии после облучения и последующего термического отжига
Кучинский П.В.1, Ломако В.М.1, Шахлевич Л.Н.1
1Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко,, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 3 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней изучено образование и свойства дефектов, возникающих в n-кремнии после облучения и последующего термического отжига. Впервые обнаружено, что независимо от вида облучения отжиг исследуемых образцов при 380 oC приводит к образованию дефектов, концентрация которых в 1.5--2 раза превышает концентрацию известных радиационных комплексов, измеренных после облучения. Область температурной стабильности указанных дефектов составляет (320--420) oC. Определены скорости захвата и эмиссии данными дефектами.
  1. В.В. Емцев, Т.В. Машовец. \it Примеси и точечные дефекты в полупроводниках (М., Радио и связь, 1981)
  2. И.Д. Конозенко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. \it Радиационные эффекты в кремнии (Киев, Наук. думка, 1974)
  3. И.Н. Баранов, П.В. Кучинский, В.М. Ломако, А.П. Петрунин, С.О. Цепелевич, Л.Н. Шахлевич. ФТП, \bf 24, 731 (1990)
  4. И.Н. Баранов, П.В. Кучинский, В.М. Ломако, А.П. Петрунин, С.О. Цепелевич, Л,Н, Шахлевич. ФТП, \bf 25, 73 (1991)
  5. П.В. Кучинский, В.М. Ломако, Л.Н. Шахлевич. ФТП, \bf 22, 1213 (1988)
  6. K. Schmalz, K. Tittelbach-Helmrich, H. Richter, Phys. St. Sol. (a), \bf k97, 99 (1987)
  7. C.H. Henry, H. Kukimoto, G.L. Miller. Phys. Rev. B, \bf 7, 277 (1973)
  8. П.В. Кучинский, В.М. Ломако, Л.Н. Шахлевич. ФТП, \bf 21, 1471 (1987)
  9. И.В. Антонова, А.В. Васильев. ФТП, 22, 998 (1988)
  10. Л.С. Берман. \it Емкостные методы исследования полупроводников (Л., Наука, 1972)
  11. D. Pons. J. Appl. Phys., 55, 3644 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.