"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Оптическое пропускание композитных пленок SiO 2/Si, полученных методом лазерного напыления
Варданян Г.А.1, Петросян П.Г.1, Григорян Л.Н.1
1Ереванский государственный университет,, Ереван, Армения
Поступила в редакцию: 8 декабря 1993 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Методом лазерного напыления на сапфировых подложках получены композитные пленки, представляющие собой SiO2 с включениями избыточного Si. Исследованы спектры оптического пропускания в зависимости от технологического режима нанесения пленок и последующей температурной обработки.
  1. Ю.И. Петров. Физика малых частиц (М., Наука, 1982)
  2. D.I. DiMaria, D.W. Dong. J. Appl. Phys., 51, 2722 (1980)
  3. T. Venkatesan et al. Appl. Phys. Lett., 53, 1557 (1988)
  4. H.R. Philipp. J. Non-Gryst. Sol. 8-10, 672 (1972)
  5. K. Hubner. Phys. St. Sol. (a), 61, 665 (1980)
  6. D.E. Aspnes, J.B. Theeten. J. Appl. Phys., 50, 4928 (1979)
  7. В.Г. Бару, Л.Н. Григорян, С.А. Терешин, В.И. Покалянин, М.И. Елинсон. Микроэлектроника, \bf 16, 473 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.