"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Оптическое пропускание композитных пленок SiO 2/Si, полученных методом лазерного напыления
Варданян Г.А.1, Петросян П.Г.1, Григорян Л.Н.1
1Ереванский государственный университет,, Ереван, Армения
Поступила в редакцию: 8 декабря 1993 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Методом лазерного напыления на сапфировых подложках получены композитные пленки, представляющие собой SiO2 с включениями избыточного Si. Исследованы спектры оптического пропускания в зависимости от технологического режима нанесения пленок и последующей температурной обработки.
  • Ю.И. Петров. Физика малых частиц (М., Наука, 1982)
  • D.I. DiMaria, D.W. Dong. J. Appl. Phys., 51, 2722 (1980)
  • T. Venkatesan et al. Appl. Phys. Lett., 53, 1557 (1988)
  • H.R. Philipp. J. Non-Gryst. Sol. 8-10, 672 (1972)
  • K. Hubner. Phys. St. Sol. (a), 61, 665 (1980)
  • D.E. Aspnes, J.B. Theeten. J. Appl. Phys., 50, 4928 (1979)
  • В.Г. Бару, Л.Н. Григорян, С.А. Терешин, В.И. Покалянин, М.И. Елинсон. Микроэлектроника, \bf 16, 473 (1987)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.