Инфракрасная спектроскопия и фотолюминесцентные свойства пленок пористого кремния: влияние режимов формирования
Белогорохов,-=SUP=-*-=/SUP=- А.И.1, Белогорохова,-=SUP=-$-=/SUP=- Л.И.1, Караванский В.А.1, Образцов-=SUP=-$-=/SUP=- А.Н.1
1Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Обнаружены немонотонные зависимости интенсивности инфракрасного поглощения в слоях пористого кремния от времени экспозиции и плотности тока в процессе анодирования при получении слоев на монокристаллическом кремнии КДБ-10 с ориентацией (111). Показано, что значения интенсивности фотолюминесценции коррелируют с величинами оптической плотности слоев и инфракрасным поглощением в полосе на 628 см-1. В то же время наличие полос интенсивного поглощения на связях типа водород-кремний не является достаточным условием для появления фотолюминесценции в образцах пористого кремния.
- L.T. Canham, W.Y. Leong, M.I.J. Beale, T.I. Cox, K.J. Nash, L.L. Taylor, P. Calcott, D. Brumhead, K.J. Marsh. \it Proc. 21st Int. Conf. on the Physics of Semiconductors (Beijing, China, 1992) p. 558
- Y.H. Seo, H.-J. Lee, H.I. Jeon, D.H. Oh, K.S. Nahu, Y.H. Lee, F.-K. Suh, H.J. Lee. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 1812 (1993)
- M.B. Robinson, A.C. Dillon, D.R. Haynes, S.H. George. Appl. Phys. Lett., \bf 61, 1414 (1992)
- J.H. Lavine, S.P. Sawan, Y.T. Shieh, A.J. Bellezza. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 1099 (1993)
- P.S. Searson, J.M. Macaulay, S.M. Prokes. J. Electrochem. Soc., \bf 139, 3373 (1992)
- R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., \bf 71, N 8, R1 (1992)
- В.А. Караванский, М.А. Качалов, А.П. Маслов, Ю.Н. Петров, В.Н. Селезнев, А.О. Шувалов. Письма ЖЭТФ, \bf 67, 229 (1993)
- В.С. Днепровский, В.А. Караванский, В.И. Климов, А.П. Маслов. Письма ЖЭТФ, \bf 57, 394 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.