"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Инфракрасная спектроскопия и фотолюминесцентные свойства пленок пористого кремния: влияние режимов формирования
Белогорохов,-=SUP=-*-=/SUP=- А.И.1, Белогорохова,-=SUP=-$-=/SUP=- Л.И.1, Караванский В.А.1, Образцов-=SUP=-$-=/SUP=- А.Н.1
1Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Обнаружены немонотонные зависимости интенсивности инфракрасного поглощения в слоях пористого кремния от времени экспозиции и плотности тока в процессе анодирования при получении слоев на монокристаллическом кремнии КДБ-10 с ориентацией (111). Показано, что значения интенсивности фотолюминесценции коррелируют с величинами оптической плотности слоев и инфракрасным поглощением в полосе на 628 см-1. В то же время наличие полос интенсивного поглощения на связях типа водород-кремний не является достаточным условием для появления фотолюминесценции в образцах пористого кремния.
  1. L.T. Canham, W.Y. Leong, M.I.J. Beale, T.I. Cox, K.J. Nash, L.L. Taylor, P. Calcott, D. Brumhead, K.J. Marsh. \it Proc. 21st Int. Conf. on the Physics of Semiconductors (Beijing, China, 1992) p. 558
  2. Y.H. Seo, H.-J. Lee, H.I. Jeon, D.H. Oh, K.S. Nahu, Y.H. Lee, F.-K. Suh, H.J. Lee. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 1812 (1993)
  3. M.B. Robinson, A.C. Dillon, D.R. Haynes, S.H. George. Appl. Phys. Lett., \bf 61, 1414 (1992)
  4. J.H. Lavine, S.P. Sawan, Y.T. Shieh, A.J. Bellezza. Appl. Phys. Lett., \bf 62, 1099 (1993)
  5. P.S. Searson, J.M. Macaulay, S.M. Prokes. J. Electrochem. Soc., \bf 139, 3373 (1992)
  6. R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., \bf 71, N 8, R1 (1992)
  7. В.А. Караванский, М.А. Качалов, А.П. Маслов, Ю.Н. Петров, В.Н. Селезнев, А.О. Шувалов. Письма ЖЭТФ, \bf 67, 229 (1993)
  8. В.С. Днепровский, В.А. Караванский, В.И. Климов, А.П. Маслов. Письма ЖЭТФ, \bf 57, 394 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.