Вышедшие номера
Инфракрасная спектроскопия и фотолюминесцентные свойства пленок пористого кремния: влияние режимов формирования
Белогорохов,-=SUP=-*-=/SUP=- А.И.1, Белогорохова,-=SUP=-$-=/SUP=- Л.И.1, Караванский В.А.1, Образцов-=SUP=-$-=/SUP=- А.Н.1
1Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Обнаружены немонотонные зависимости интенсивности инфракрасного поглощения в слоях пористого кремния от времени экспозиции и плотности тока в процессе анодирования при получении слоев на монокристаллическом кремнии КДБ-10 с ориентацией (111). Показано, что значения интенсивности фотолюминесценции коррелируют с величинами оптической плотности слоев и инфракрасным поглощением в полосе на 628 см-1. В то же время наличие полос интенсивного поглощения на связях типа водород-кремний не является достаточным условием для появления фотолюминесценции в образцах пористого кремния.