"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Псевдолегирование и отжиг аморфного гидрированного кремния
Голикова О.А.1, Казанин М.М.1, Мавлянов Х.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Проведены исследования влияния отжига при температурах 300-390 oC на фотоэлектрические параметры псевдолегированных образцов a-Si:H. Показано, что термическая релаксация структурной сетки готовой пленки приводит к снижению концентрации оборванных связей и сдвигам уровня Ферми к середине щели подвижности так же, как уменьшение интенсивности бомбардировки растущей пленки частицами плазмы.
  1. W.E. Spear, P.G. LeComber. Phil. Mag., 33, 935 (1976)
  2. O.A. Golikova, A.M. Grekhov. Phys. St. Sol. B, \bf 155, 475 (1989)
  3. О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, В.Х. Кудоярова, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, \bf 23, 1737 (1989)
  4. J. Stuke. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, 1 (1987)
  5. G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3661 (1993)
  6. H. Nishio, G. Ganguly, A. Matsuda. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (1993)
  7. О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  8. P. Roca, I. Cabarrocas, P. Morin, V. Chu, J.P. Conde, J.Z. Liu, H.R. Park, S. Wagner. J. Appl. Phys., \bf 69, 2942 (1991)
  9. N. Hata, A. Matsuda. \it Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 125
  10. R.A. Street, K. Winer. Phys. Rev. B, 40, 6236 (1989)
  11. M. Silver, G. Winhorne, H. Branz, L. Pautmeier, H. Bassler. J. Non-Cryst. Sol., \bf 114, 244 (1989)
  12. G. Schumm. Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.