"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электронные свойства поверхности карбида кремния ромбоэдрической модификации 15 R
Авраменко С.Ф.1, Вайнберг В.В.1, Венгер Е.Ф.1, Кириллова С.И.1, Киселев В.С.1, Примаченко В.Е.1, Чернобай В.А.1
1Институт полупроводников НАН Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1994 г.

В области (300/100) K исследованы температурные зависимости поверхностного потенциала varphis на поверхностях (0001)Si и (0001)C n-SiC-15R. Обнаружено, что на обеих поверхностях присутствуют слои истощения, а величина varphis и зависимости varphis(T) определяются физико-химическим состоянием поверхностей. На электролитически окисленной поверхности (0001)Si зависимости varphis имеют N-образный характер, а на окисленной поверхности (0001)C и обработанных в HF поверхностях (0001)Si и (0001)C --- V-образный характер. При использовании результатов измерения эффекта Холла и зависимостей varphis(T) рассчитаны изменения с температурой заряда Qs в поверхностных состояниях (ПЭС) и положения уровня Ферми на поверхностях полупроводника при различных температурах. Сделан вывод, что характер зависимостей Qs(T) определяется при понижении температуры зарядкой ПЭС и уменьшением электронного заряда в ПЭС за счет перестройки самой системы ПЭС. Обнаружен и исследован эффект фотопамяти поверхностного потенциала, связанный с захватом неравновесных дырок на поверхностные ловушки при освещении SiC-15R.
  1. Ю.М. Алтайский, Ю.Н. Литвинов. Карбид кремния как материал современной оптоэлектроники и полупроводниковой техники (М., 1984)
  2. Ю.А. Водаков, А.Г. Остроумов. Измерения, контроль, автоматизация. N 2/62, 53 (1987)
  3. P.A. Ivanov, E.V. Chelnokov. Semicond. Sci. Techn., \bf 7, 863 (1992)
  4. С.Ф. Авраменко, Е.Ф. Венгер, С.И. Кириллова, В.С. Киселев, В.Е. Примаченко, О.Т. Сергеев, В.А. Чернобай. УФЖ, \bf 38, 268 (1993)
  5. Ю. Лауке, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков, Ф. Щепански. Неорганические материалы, \bf 17, 254 (1981)
  6. А.В. Саченко, О.В. Снитко. Фотоэффекты в приповерхностных слоях полупроводников (Киев, 1984)
  7. С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, О.В. Снитко, В.А. Чернобай. Поверхность, N 12, 85 (1990)
  8. С.И. Кириллова, В.Е. Примаченко, В.А. Чернобай, О.В. Снитко. Поверхность, N 11, 74 (1991)
  9. Карбид кремния (строение, свойства и области применения), под ред. И.Н. Францевича (Киев, 1966)
  10. Карбид кремния, под ред. Г. Хениша и Р. Роя (М., 1972)
  11. Ю.И. Горкун. ФТТ, 3, 1061 (1961)
  12. В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., 1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.