Вышедшие номера
Электронные свойства поверхности карбида кремния ромбоэдрической модификации 15 R
Авраменко С.Ф.1, Вайнберг В.В.1, Венгер Е.Ф.1, Кириллова С.И.1, Киселев В.С.1, Примаченко В.Е.1, Чернобай В.А.1
1Институт полупроводников НАН Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1994 г.

В области (300/100) K исследованы температурные зависимости поверхностного потенциала varphis на поверхностях (0001)Si и (0001)C n-SiC-15R. Обнаружено, что на обеих поверхностях присутствуют слои истощения, а величина varphis и зависимости varphis(T) определяются физико-химическим состоянием поверхностей. На электролитически окисленной поверхности (0001)Si зависимости varphis имеют N-образный характер, а на окисленной поверхности (0001)C и обработанных в HF поверхностях (0001)Si и (0001)C - V-образный характер. При использовании результатов измерения эффекта Холла и зависимостей varphis(T) рассчитаны изменения с температурой заряда Qs в поверхностных состояниях (ПЭС) и положения уровня Ферми на поверхностях полупроводника при различных температурах. Сделан вывод, что характер зависимостей Qs(T) определяется при понижении температуры зарядкой ПЭС и уменьшением электронного заряда в ПЭС за счет перестройки самой системы ПЭС. Обнаружен и исследован эффект фотопамяти поверхностного потенциала, связанный с захватом неравновесных дырок на поверхностные ловушки при освещении SiC-15R.