"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Квантово-химическое моделирование взаимодействия фтора с поверхностью (111) кремния
Гадияк Г.В.1, Мороков Ю.Н.1
1Институт теоретической и прикладной механики Сибирского отделения Российской академии наук,, Новосибирск, Россия
Выставление онлайн: 19 апреля 1993 г.

Представлены результаты квантово-химического изучения в кластерном приближении адсорбции фтора на поверхности Si (111). Построены потенциальные поверхности взаимодействия атома фтора с идеальной поверхностью и с Si (111), покрытой монослоем атомов фтора. При адсорбции молекулы фтора наблюдается ее безбарьерная диссоциация. Определены равновесные конфигурации поверхностных комплексов SiFn (n=1-4). Результаты показывают, что при распаде этих комплексов должны преимущественно десорбироваться молекулы SiF2 и SiF4.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.