"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Процессы формирования "новых доноров" при термообработке кремния с различной концентрацией кислорода
Андреев Б.А.1, Голубев В.Г.1, Емцев В.В.1, Кропотов Г.И.1, Оганесян Г.А.1, Шмальц К.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Выставление онлайн: 19 марта 1993 г.

Рассмотрены процессы образования "новых доноров" в кремнии с различным содержанием кислорода при T=600oC. Показано, что энергетический спектр новых доноров составной, и установлены его компоненты. При исследовании новых доноров выявлено, что термическая стабильность "классических" двойных термодоноров, образующихся при T=450oC, гораздо выше, чем принято считать в современной литературе. Процессы образования новых доноров сильно зависят от исходной концентрации кислорода.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.