Вышедшие номера
Радиационное распухание и распыление CdxHg1-xTe при имплантации ионов в больших дозах
Ибрагимова М.И.1, Петухов В.Ю.1, Хайбуллин И.Б.1
1Казанский физико-технический институт,, Казань, Татарстан
Выставление онлайн: 19 марта 1993 г.

Изучено влияние бомбардировки на изменение объема приповерхностного слоя и микрорельефа поверхности CdxHg1-xTe в зависимости от режимов и условий имплантации. Эти изменения объяснены с учетом двух факторов: вакансионного радиационно-стимулированного распухания и распыления. Обнаружено, что химическая природа бомбардирующих ионов влияет на геометрические размеры и плотность неоднородностей на поверхности CdxHg1-xTe. Образующиеся в процессе имплантации CdxHg1-xTe выступы и впадины значительно увеличивают коэффициент распыления, до десятков раз.