Бесконтактным неразрушающим методом СВЧ релаксометрии исследовалось пространственное распределение (разрешение ~0.2 мм) эффективного времени жизни неравновесных носителей в серии пластин кремния с нанесенной структурой из алюминиевых полосок (шаг 2.9 мм), последующей перекристаллизацией сплава Al-Si в градиенте температур и заключительным внутренним геттерированием. Показано, что после перекристаллизации время жизни определяется дефектами, связанными с алюминием по всей площади пластины, в то время как геттерирование существенно уменьшает этот эффект.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.