"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Функция отклика и оптимальная конфигурация полупроводниковых детекторов отраженных электронов для сканирующих электронных микроскопов
Рау Э.И.1,2, Орликовский Н.А.3, Иванова Е.С.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Институт проблем технологий микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
3Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Предлагается новая высокоэффективная конструкция полупроводниковых детекторов электронов средних энергий (1-50 кэВ) для применения в сканирующих электронных микроскопах. Расчеты функции отклика усовершенствованных детекторов и контрольные эксперименты показывают, что эффективность разработанных устройств повышается в среднем в 2 раза, что является существенным положительным фактором при работе современных электронных микроскопов в режиме малых токов и при низких энергиях первичных электронов.
  1. Z.J. Radzimski. Scanning Electron Microscopy, ed. by O'Hare (Chicago. 1987) v. 1, p. 975
  2. H.O. Funsten, D.M. Sunszcynsky, S.M. Ritzau, R. Korde. IEEE Trans. Nucl. Sci., 44 (6), 2561 (1997)
  3. L. Reimer. Image Formation in low-voltage scanning electron microscopy (SPIE Press, Washingron, 1993) p. 33
  4. А.В. Гостев, С.А. Дицман, В.В. Забродский и др. Изв. РАН. Сер. физ., 2 (11), 1539 (2008)
  5. F. Arnal, P. Verdier, C.R. Acad. Sci. Paris, 268, 1526 (1969)
  6. А.В. Гостев, В.Г. Дюков, С.А. Дицман и др. Изв. РАН. Сер. физ., 74 (7) 1010 (2010)
  7. H.-J. Hunger, L. Kuchler. Phys. Status Solidi A, 56, 45 (1979)
  8. K. Kanaya, S. Okayama. J. Phys. D, 5, 43 (1972)
  9. K. Kanaya, S. Ono. J. Phys. D, 11, 1495 (1978)
  10. H.-J. Fitting. J. Electr. Spectr. Rel. Phenom., 136, 265 (2004)
  11. Н.Н. Михеев, В.И. Петров, М.А. Степович Изв. АН СССР. Сер. физ., 55 (9), 1474 (1991)
  12. M. Gaber. X-Ray spectrometry, 16, 17 (1987)
  13. G. Neubert, S. Rogaschewski. J. Phys. D, 17, 2439 (1984)
  14. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ (М., Мир, 1984) т. 1, с. 154

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.