"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства
Севастьянов Е.Ю.1, Максимова Н.К.1, Новиков В.А.2, Рудов Ф.В.2, Сергейченко Н.В.2, Черников Е.В.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 15 ноября 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Исследованы микроструктура и свойства полученных магнетронным напылением на постоянном токе тонких (~100 нм) пленок SnO2 с добавками благородных металлов Pt, Pd, Au. Показано, что введение добавок в объем и нанесение дисперсных катализаторов на поверхность полупроводника позволяют управлять характеристиками сенсоров в чистом воздухе и при воздействии восстановительных (CO, H2, CH4) и окислительного (NO2) газов. Обсуждены возможные механизмы действия Pt, Pd, Au в объеме и на поверхности диоксида олова. Определены технологические условия формирования пленок, обеспечивающих селективное детектирование низких концентраций (10-100 ppm) CO и H2, довзрывоопасных концентраций (0.5-2.5 об%) метана и следовых концентраций (0.05-5 ppm) NO2.
  1. D. Kohl. Sensors Actuators B, 1, 158 (1990)
  2. W. Gopel. Sensors Actuators B, 18/19, 1(1994)
  3. G. Zhang, M. Liu. Sensors Actuators B, 69, 144 (2000)
  4. A. Cabot, J. Arbiol, J.R. Morante, U. Weimar, N. B\^arsan, W. Gopel. Sensors Actuators B, 70, 87 (2000)
  5. A. Carot, A. Dieguez, A. Romano-Rodrigez, J.R. Morante, N. B\^arsan. Sensors Actuators B, 79, 98 (2001)
  6. М.Н. Румянцева, О.В. Сафонова, М.Н. Булова, Л.И. Рябова, А.М. Гаськов. Изв. АН. Сер. хим., N 6, 1 (2003)
  7. J. Mizsei. Sensors Actuators B, 15/16, 328 (1993)
  8. K.D. Schierbaum, U.K. Kirner, J.F. Geiger, W. Gopel. Sensors Actuators B, 4, 87 (1991)
  9. M. Labeau, B. Gautheron, F. Cellier, M. Vallet-Regi, E. Garcia, J.M. Gonz\`alez Calbet. J. Sol. St. Chem., 102, 434 (1993)
  10. G. Korotchenko, B.K. Cho, L. Gulina, V. Tolstoy. Sensors Actuators B, 141, 610 (2009)
  11. Y. Xiao, C.M. Li. Electroanalysis, 20, 648 (2008)
  12. S. Zhang, D. Sun, Y. Fu, H. Du. Surf. Coat. Technol., 167, 113 (2003)
  13. О.В. Анисимов, В.И. Гаман, Н.К. Максимова, Ю.П. Найден, В.А. Новиков, Е.Ю. Севастьянов, Ф.В. Рудов, Е.В. Черников. ФТП, 44, 383 (2010)
  14. О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, Ю.П. Найден, В.А. Новиков, Е.Ю. Севастьянов, Ф.В. Рудов, Е.В. Черников. ЖФХ, 84, 1 (2010)
  15. Н.К. Максимова, Ю.Г. Катаев, Е.В. Черников. ЖФХ, 71, 1492 (1997)
  16. О.В. Анисимов, В.И. Гаман, Н.К. Максимова, С.М. Мазалов, Е.В. Черников. ФТП, 40, 724 (2006)
  17. И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  18. J.F. McAleer, P.T. Moselery. J. Chem. Soc. Faraday Trans., 83, 1323 (1987)
  19. В.И. Гаман. Изв. вузов. Физика, 51, 84 (2008)
  20. В.И. Гаман, О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, Н.В. Сергейченко, Е.Ю. Севастьянов, Е.В. Черников. Изв. вузов. Физика, 51, 50 (2008)
  21. S.R. Morrison. Sensors Actuators B, 12, 425 (1987)
  22. M. Sinner-Hettenbach, N. B\^arsan, U. Weimar, T. Weib, C. Ziegler. In: Proc. 14th Eur. Conf. Solid-State Transducers (Copenhagen, 2000) p. 117
  23. С. Моррисон. Химическая физика поверхности твердого тела (М., Мир, 1980)
  24. А.И. Стадниченко. Автореф. канд. дис. (Новосибирск, Ин-т катализа, 2007)
  25. P. Ivanov, E. Llobet, F. Blanco, A. Vergara, X. Vilanova, I. Gracia, C. Cane, X. Correig. Sensors Actuators B, 118, 311 (2006)
  26. H. Xia, Y. Wang, F. Kong, S. Wang, B. Zhu, X. Guo, J. Zhang, Y. Wang, S. Wu. Sensors Actuators B, 134, 133 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.