"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование электрофизических и газочувствительных свойств слоев нанокомпозита por-Si/SnOx
Болотов В.В.1, Росликов В.Е.1, Курдюкова Е.А.1, Кривозубов О.В.1, Стенькин Ю.А.1, Чередов Д.В.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 9 июня 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.

Исследованы электрофизические характеристики и чувствительность к химическим реагентам слоев гетерофизических нанокомпозитов на основе пористого кремния и нестехиометрического диоксида олова por-Si/SnOx, полученных методом магнетронного напыления олова с последующим окислением. Показано, что в слоях нанокомпозитов формируется система распределенных гетеропереходов (нанокристаллы Si/SnOx), определяющих электрические характеристики таких структур. Определена чувствительность тестовых сенсорных структур, созданных на основе нанокомпозитов por-Si/SnOx к NO2. Предложен механизм влияния адсорцбии молекул NO2 на вольт-амперные характеристики гетеропереходов por-Si(p)/SnOx(n).
  1. K. Kalantar-zadeh, B. Fry. Nanotechnology--Enabled Sensors (Springer Science + Business Media, 2008)
  2. W. Gopel, K.D. Schierbaum. Sensors Actuators B, 26-- 27, 1 (1995)
  3. В.Г. Петрук, А.Г. Кравец. ЖТФ. 77 (2), 86 (2007)
  4. J.R. Brown, P.W. Haycock, L.M. Smith, A.C. Jones, E.W. Williams. Sensors Actuators B, 63, 109 (2000)
  5. V. Simakov, A. Voroshilov, A. Grebennikov, N. Kucherenko, O. Yakusheva, V. Kisin. Sensors Actuators B, 137, 456 (2009)
  6. N. Barsan, M. Schweizer-Berberich, W. Gopel. Fresenius J. Anal. Chem, 365, 287 (1999)
  7. S. Borini. Appl. Phys., 102, 093 7709 (2007)
  8. G. Amoto, L. Boarino, F. Bellotti. Appl. Phys. Lett., 85, 4409 (2004)
  9. Z. Gaburro, C.J. Oton, L. Pavesi, L. Pancheri. Appl. Phys. Lett., 84, 4388 (2004)
  10. H. Meixner, U. Lampe. Sensors Actuators B, 33, 198 (1996)
  11. В.В. Болотов, П.М. Корусенко, С.Н. Несов, С.Н. Поворознюк, В.Е. Росликов, Е.А. Курдюкова, Ю.А. Стенькин, Р.В. Шелягин, Е.В. Князев, В.Е. Кан, И.В. Пономарева. ФТП, 45, 702 (2011)
  12. В.В. Болотов, Ю.А. Стенькин, В.Е. Росликов, В.Е. Кан, И.В. Пономарева, С.Н. Несов. ФТП, 43, 957 (2009)
  13. L.E. Davis, N.C. Macdonals, P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber. Handbook of Auger electron spectroskopy (Minnesota, PEI, 1986) p. 8
  14. Zhizhong Yuan, Dongsheng Li, Minghua Wang, Peiliang Chen, Daoren Gong. Appl. Phys. Lett., 92, 121 908 (2008)
  15. N. Barsan, U. Weimar. J. Electroceramics, 7, 143 (2001)
  16. Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126 (4-10), 857 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.