"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Краевые инверсионные каналы и поверхностные токи утечки в высоковольтных полупроводниковых приборах
Кюрегян А.С.1
1Всероссийский электротехнический институт им. В.И. Ленина, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 16 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.

Показано, что электрическое поле над поверхностью полупроводниковых приборов может оказаться достаточным для того, чтобы индуцировать краевые инверсионные каналы, если напряжение смещения велико, а плотность поверхностного заряда Qs мала. В этом случае краевая область приборов, содержащих p-n-p-структуру (например, тиристоров), функционирует как планарный p-канальный МДП транзистор, у которого затвор совмещен со стоком, а функцию подзатворного диэлектрика выполняет вся среда над поверхностью. Ток между истоком и стоком этого "краевого МДП транзистора" является током поверхностной утечки всего прибора. Построена аналитическая теория, описывающая вольт-амперную характеристику в подпороговом режиме. Показано, что этот новый механизм определяет полный ток утечки высоковольтных приборов, если |Qs| и температура T достаточно малы (|Qs|<4 нКл/см2, T<270 K для кремниевых и |Qs|<58 нКл/см2, T<600 K для карбид-кремниевых приборов).
  1. П.С. Агаларзаде, А.И. Петрин, С.О. Изидинов. Основы конструирования и технологии обработки поверхности p-n-перехода (М., Сов. радио, 1978)
  2. H. Statz, A. deMars, L. Davis et al. Phys. Rev., 100 (4), 1272 (1956)
  3. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 2
  4. H.C. Pao, C.T. Sah. Sol. St. Electron., 9, 927 (1966)
  5. М.А. Лаврентьев, Б.В. Шабат. Методы теории функций комплексного переменного (М., Наука, 1987)
  6. X.B. Chen, J.K.O. Sin, M. Zhang, B. Wang. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 44, 869 (1997)
  7. А.С. Кюрегян. ФТП, 45, 67 (2011)
  8. А.В. Горбатюк, А.С. Кюрегян. Микроэлектроника, 20, 254 (1991)
  9. А.С. Кюрегян, С.Н. Юрков. ФТП, 23, 1819 (1989)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.