"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения
Бабаев А.А.1, Султанов С.Б.1, Абдулвагабов М.Ш.2, Теруков Е.И.3
1Институт физики Дагестанского научного центра Российской академии наук, Махачкала, Россия
2Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Исследованы энергия активации проводимости на постоянном токе, показатель преломления, микротвердость аморфных гидрогенизированных углеродных пленок a-C:H. Пленки были получены из метан-аргоновой смеси при различных условиях осаждения на кварцевые и кремниевые подложки: E/p=40-180 В/мПа (E --- напряженность электрического поля между электродами, p --- давление газовой смеси в камере), температура подложки Ts=50-300oC. Эти условия осаждения позволяют получать алмазоподобные, полимероподобные, графитоподобные пленки a-C:H, в которых энергия активации проводимости, микротвердость и показатель преломления меняются в значительных пределах.
  1. Е.А. Коншина, В.А. Толмачев. ЖТФ, 65 (1), 175 (1995)
  2. A. Bulenzer, D. Dischler, G. Brant. J. Appl. Phys., 54 (8), 4590 (1983)
  3. R. Locher, C. Wild, R. Koide. Surf. Coat. Tech., 47, 426 (1991)
  4. K. Fujii, N. Shohota, M. Mikami. Appl Phys. Lett., 47 (4), 370 (1985)
  5. В.Б. Яковлев, Л.К. Васильева, Е.А. Коншина. ЖПС, 53 (5), 863 (1990)
  6. Р. Аззам, Н. Башара. Элипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  7. Е.А. Коншина. ЖТФ, 2 (6), 35 (2002)
  8. V.A. Tolmachev, E.A. Konshina. Diamond Relat. Mater., 5, 1397 (1996)
  9. Е.А. Коншина. ФТТ, 37, 1120 (1995)
  10. Е.А. Коншина. ЖТФ, 70 (3), 87 (2000)
  11. Е.А. Коншина. ЖТФ, 68 (9), 59 (1998)
  12. Е.А. Коншина. Кристаллография, 40, 1074 (1995)
  13. Е.А. Коншина, А.П. Онохов. ЖТФ, 69 (3), 80 (1999)
  14. Е.А. Коншина, А.И. Вангонен. ФТП, 39 (5), 616 (2005)
  15. А.А. Бабаев, М.Ш. Абдулвагабов. Письма ЖТФ, 15 (14), 75 (1989)
  16. А.А. Бабаев, И.К. Камилов, С.Б. Султанов, А.М. Асхабов. ФХС, 31 (3), 436 (2005)
  17. И.П. Маника, Я.Е. Манинс, А.Я. Тетерис. Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук, N 6, 34 (1986)
  18. М.Ш. Абдулвагабов, Б.А. Билалов, Г.К. Сафаралиев. Тр. 8-й Межд. конф. "Пленки и покрытия --- 2007" (СПб., 2007) с. 63.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.