Взаимодействие примеси меди с радиационными дефектами в легированном бором кремнии
Поступила в редакцию: 2 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.
Изучается спектр глубоких уровней, формирующихся в легированных бором монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского, в результате взаимодействия радиационных дефектов и примеси меди. Показано, что, независимо от порядка введения дефектов (как при низкотемпературной диффузии меди в предварительно облученные электронами кристаллы, так и при облучении загрязненных медью образцов), возникает один и тот же набор глубоких уровней. В дополнение к обычным радиационным дефектам в медьсодержащих кристаллах выявлены три уровня. Это уже упоминавшийся в литературе центр Ev+0.49 эВ, а также ранее не связываемые с медью уровень Ev+0.51 эВ и уровень, близкий к донорному уровню дивакансии. На основе анализа концентрационных профилей межузельная пара углерод-кислород исключена из возможных прекурсоров медьсодержащего центра Ev+0.49 эВ.
- K. Graff. Metal impurities in silicon-device fabrication (Berlin, Springer, 1995)
- A.A. Istratov, E.R. Weber. Appl. Phys. A, 66, 123 (1998)
- S.J. Pearton, A.J. Tavendale. J. Appl. Phys., 54, 1375 (1983)
- B.G. Svensson, M.O. Aboelfotoh, J.L. Lindstrom. Phys. Rev. Lett., 66, 3028 (1991)
- S. Tamulevicius, B.G. Svensson, M.O. Aboelfotoh, A. Hallen. J. Appl. Phys., 71, 4212 (1992)
- M.O. Aboelfotoh, B.G. Svensson. Phys. Rev. B, 52, 2522 (1995)
- S.K. Estreicher. Phys. Rev. B, 60, 5375 (1999)
- D. West, S.K. Estreicher, S. Knack, J. Weber. Phys. Rev. B, 68, 035 210 (2003)
- V.P. Markevich, A.R. Peaker, I.F. Medvedeva, V. Gusakov, L.I. Murin, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 131--133, 363 (2008)
- A.A. Istratov, E.R. Weber. J. Electrochem. Soc., 149, G21 (2002)
- О.В. Феклисова, Н.А. Ярыкин, Е.Б. Якимов, Й. Вебер. ФТП, 35, 1417 (2001)
- O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 308--310, 210 (2001)
- L.I. Khirunenko, Yu.V. Pomozov, N.A. Tripachko, M.G. Sosnin, A. Duvanskii, L.I. Murin, J.L. Lindstrom, S.B. Lastovskii, L.F. Makarenko, V.P. Markevich, A.R. Peaker. Sol. St. Phenomena, 108--109, 261 (2005)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.