Механизм протекания тока в омическом контакте к n-4H-SiC
Бланк Т.В.1, Гольдберг Ю.А.1, Поссе Е.А.1, Солдатенков Ф.Ю.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 августа 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.
Изучалось протекание тока в омическом контакте In-n-4H-SiC (n~3·1017 см-3) на основании зависимости сопротивления контакта, приведенного к единице площади, от температуры. Установлено, что основным механизмом протекания тока является термоэлектронная эмиссия через барьер ~0.1 эВ. При этом эффективная постоянная Ричардсона оказалась равной ~2·10-2 А/см2·K.
- Properties of Advanced Semiconductor Materials, ed. by M. Levinshtein, S. Rumyantsev, M. Shur (N. Y., John Wiley and Sons, 2001)
- Shaweta Khanna, Arti Noor, Man Singh Tyagi, Sonnathi Neeleshwar. Mater. Sci. Forum, 615--617, 427 (2009)
- A. Itoh, H. Matsunami. Phys. Status Solidi A, 162, 389 (1997)
- A. Itoh, T. Kimoto, H. Matsunami. IEEE Trans. Electron. Dev. Lett., 16, 280 (1995)
- W.R. Harell, J. Zhang, K.F. Poole. J. Electron. Mater., 31, 1090 (2002)
- D. Perrone, M. Naretto, S. Ferrero, L. Scaltrito, C.-F. Pirri. Mater. Sci. Forum, 615--617, 647 (2009)
- Pavel A. Ivanov, Alexander S. Potapov, Tat'yana P. Samsonova. Mater. Sci. Forum, 615--617, 431 (2009)
- C. Koliakoudakis, J. Dontas, S. Karakalos, M. Kayambaki, S. Ladas, G. Konstantinidis, S. Kennou, K. Zekentes. Mater. Sci. Forum, 615--617, 651 (2009)
- Irina P. Nikitina, Konstantin V. Vassilevski, A.B. Horsfall, Nicolas G. Wright, Anthony G. O'Neill, S.K. Ray, C. Mark Johnson. Mater. Sci. Forum, 615--617, 577 (2009)
- Hyoung Jin Im, B. Kaczer, J.P. Pelz, Jin Ming Chen, W.J. Choyke. Mater. Sci. Forum, 264--268, 813 (1998)
- O. Shigiltchoff, T. Kimoto, D. Hoodgood, et al. In: Technical Digest of International Conference on SiC and Related Materials (Tsukuba, Japan, 2001) We-B-23, p. 291C
- S.Y. Han, N.K. Kim, E.D. Kim, J.L. Lee. Silicon Carb. Rel. Mater., 2001 --- Mater. Sci. Forum, 389--393, 897 (2002)
- S. Liu, K. Reinhardt, C. Severt, J. Scofield. Silicon Carb. Rel. Mater. 1995 --- Inst. Phys. Conf. Ser., 142, 589 (1996)
- Weijie Lu, W.C. Mitchel, G.R. Landis, T.R. Crenshaw, W. Eugene Collins. Sol. St. Electron., 47, 2001 (2003)
- Shu-Cheng Chang, Shiu-Jinn Wang, Kai-Ming Uang, Bor-Wen Liou. Sol. St. Electron., 49, 1937 (2005)
- Ryohei Konishi, Ryuichi Yasukochi, Osamu Nakatsuka, Yasuo Koide, Miki Moriyama, Masanori Murakami. Mater. Sci. Eng. B, 98, 286 (2003)
- Т.В. Бланк, Ю.А. Гольдберг. ФТП, 41, 1281 (2007)
- R. Kakanokov, L. Kassamakova, I. Kassamakov, K. Zekentes, N. Kuznetsov. Mater. Sci. Eng. B, 80, 374 (2001)
- Kazuhiro Ito, Susumu Tsukimoto, Masanori Murakami. Sci. Techn. Adv. Mater., 7, 496 (2006)
- A. Scorzoni, F. Moscatelli, A. Poggi, G.C. Cardinali, R. Nipoti. Silicon Carb. Rel. Mater., 2004 --- Mater. Sci. Forum, 457--460, 881 (2004)
- V. Saxena, Jian Nong Su, A.J. Steckl. IEEE Trans. Electron. Dev., 46, 456 (1999)
- O. Korolkov, N. Kuznetsova, T. Rang, A. Syrkin, V. Dmitriev. Mater. Sci. Forum, 556--557, 737 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.