Вышедшие номера
Видимая фотолюминесценция селективно травленных пористых nc-Si-SiOx-структур
Индутный И.З.1, Михайловская Е.В.1, Шепелявый П.Е.1, Данько В.А.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 3 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 20 января 2010 г.

Представлены результаты первых исследований влияния селективного травления на фотолюминесценцию пористых nc-Si-SiOx структур, которые содержат нанокластеры кремния (nc-Si) в матрице SiOx. В исходных образцах при комнатной температуре наблюдаются интенсивные полосы фотолюминесценции с максимумами при 840 и 660 нм, обусловленные излучательной рекомбинацией свободных (либо связанных в экситоны) носителей, которые возбуждаются в nc-Si. В результате селективного травления nc-Si-SiOx-структур в 1% растворе HF эти полосы значительно сдвигаются в более высокоэнергетическую область спектра. Предполагается, что эволюция спектров вызвана уменьшением размеров кремниевых наночастиц вследствие травления оксида и доокисления nc-Si. Полученные результаты показывают, что с помощью селективного травления оксидной матрицы можно управлять спектрами излучения пористых nc-Si-SiOx-структур.