"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности совместной диффузии бора и гадолиния в кремний из наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок
Смирнова И.В.1, Шилова О.А.1,2, Мошников В.А.2, Гамарц А.Е.2
1Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 26 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

Методом золь-гель технологии получены наноразмерные органо-неорганические пленки, которые использованы в качестве усовершенствованных источников диффузии бора и гадолиния в кремний. С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии исследованы особенности диффузионных профилей распределения бора при его раздельной и совместной с гадолинием диффузии из полученных пленок. Составлена программа и проведено численное моделирование, обеспечившее адекватное описание сложных участков экспериментально полученных диффузионных профилей бора. Предложена модель, учитывающая перераспределение бора между стекловидной пленкой и оксидным слоем, что позволило найти оптимальные значения коэффициентов диффузии бора, при которых наблюдается наилучшее соответствие между экспериментальными и расчетными результатами. PACS: 81.07.Pr, 81.20.Fw, 61.72.sh
  1. З.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств. Справочник (М., Радио и связь, 1991)
  2. В.В. Новиков. Теоретические основы микроэлектроники. Учеб. пособие для радиотехн. спец. вузов (М., Высш. шк., 1972)
  3. А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько, И.М. Митникова, Л.Ф. Чепик. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике (Л., Наука, 1972)
  4. О.В. Александров, А.О. Захарьин, Н.А. Соболев. ФТП, 39 (7), 776 (2005)
  5. В.Г. Лифшиц. СОЖ, N 2, 107 (1997)
  6. О.А. Шилова. Физика и химия стекла, 31 (2), 270 (2005)
  7. В.А. Мошников, О.А. Шилова. Золь-гель технология наноструктурированных материалов. Серия: Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы, под ред. В.В. Лучинина, Ю.М. Таирова (М., Физматлит, 2006) с. 205
  8. Ю.З. Бубнов, О.А. Шилова. Технологии приборостроения, N 3 (7), 60 (2003)
  9. А.М. Гуляев, Ле Ван Ван, О.Б. Сарач, О.Б. Мухина. ФТП, 42 (6), 742 (2008)
  10. С. Зайнабидинов, Д.Э. Назыров. Изв. вузов. Электроника, N 1, 87 (2007)
  11. А.И. Максимов, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров, О.А. Шилова. Золь-гель технология. Основы золь-гель технологии нанокомпозитов (СПб., Элмор, 2007)
  12. И.В. Смирнова, О.А. Шилова, В.А. Мошников, М.Ф. Панов, В.В. Шевченко, Н.С. Клименко. Физика и химия стекла, 32 (4), 632 (2006)
  13. И.В. Смирнова, О.А. Шилова, В.А. Жабрев, Ю.З. Бубнов. Тр. XII Межд. науч.-техн. конф. (М., ОАО ЦНИИ "Техномаш" 2006) С. 64
  14. Атомная диффузия в полупроводниках, под ред. Д. Шоу (М., Мир, 1975)
  15. А.Г. Козлов. Изв. ЛЭТИ, вып. 338, 79 (1984)
  16. A. Leyderman, D. Arcos, Y.-C. Lee Charles. Proc. Conf. on Photorefractive Fiber and Crystal Devices: Materials, Optical Properties and Applications VII. Proc. SPIE, 4459, 210 (2001)
  17. H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger, H. Baumgartel. J. Electrochem. Soc., 137 (11), 190 (1990)
  18. А.И. Курносов, В.В. Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов. Учеб. пособие (М., Высш. шк., 1974)
  19. О.А. Шилова, Е.В. Тарасюк, В.В. Шевченко, Н.С. Клименко, Т.Г. Мовчан, С.В. Хашковский, В.В. Шилов. Физика и химия стекла, 29 (4), 527 (2003)
  20. И.В. Смирнова, О.А. Шилова, Л.П. Ефименко, К.Э. Пугачев, В.А. Мошников, Ю.З. Бубнов. Физика и химия стекла, 33 (4), 429 (2007)
  21. И.В. Смирнова, О.А. Шилова, В.А. Мошников. Изв. СПБГЭТУ "ЛЭТИ", вып. 2, 3 (2004)
  22. О.В. Александров, С.А. Высоцкая, И.В. Смирнова, О.А. Шилова. Матер. электрон. техники, N 1, 22 (2008)
  23. И.В. Смирнова, О.А. Шилова, В.А. Жабрев, Ю.З. Бубнов. Физика и химия стекла, 35 (1), 127 (2009)
  24. И.В. Смирнова. Автореф. канд. дис. (СПб., ИХС РАН, 2007)
  25. А.Ф. Филиппов. Введение в теорию дифференциальных уравнений (СПб., КомКнига, 2007)
  26. Б.П. Демидович. Краткий курс высшей математики (М., АСТ, 2005)
  27. Н.Н. Олейников, Г.П. Муравьева. Химия. Основные алгоритмы решения задач, под ред. Ю.Д. Третьякова (М., УНЦДО, Физматлит, 2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.