"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Об оптимизации структурного совершенства слитков карбида кремния политипа 4H
Авров Д.Д.1, Дорожкин С.И.1, Лебедев А.О.1, Таиров Ю.М.1, Трегубова А.С.2, Фадеев А.Ю.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.

Улучшение структурного совершенства слитков карбида кремния политипа 4H, выращенных модифицированным методом Лели, достигнуто в многостадийном процессе при последовательной смене ориентации затравок (аналогично представленному ранее в литературе RAF-процессу). Выращенные слитки диаметром 20-40 мм характеризуются практически полным отсутствием периферических малоугловых границ, а также значительным снижением плотности микропор (2-3 порядка величины по сравнению с исходным материалом). Повторное разращивание полученных затравок с ориентацией (0001)C до 50-55 мм в диаметре приводит к незначительному ухудшению структурного совершенства во вновь генерируемых периферических областях слитка. Получены качественные образцы пластин карбида кремния, характеризующихся плотностью микропор 5-40 см-2 и базисных дислокаций 103-104 см-2. PACS: 61.72Bb, 61.72.Dd, 61.72.Mm, 81.05Hd, 81.10Bk
  1. П.А. Иванов, В.Е. Челноков. ФТП, 29, 1921 (1995)
  2. Z.G. Herro, B.M. Epelbaum, M. Bickermann, C. Seitz, A. Magerl, A. Winnacker. J. Cryst. Growth, 275, 496 (2005)
  3. H.-J. Rost, J. Dolle, J. Doerschel, D. Siche, D. Schulz, J. Wollweber. J. Cryst. Growth, 225, 317 (2001)
  4. D.D. Avrov, A.V. Bulatov, S.I. Dorozhkin, A.O. Lebedev, Yu.M. Tairov. J. Cryst. Growth, 275, 485 (2005)
  5. D. Hofmann, E. Schmitt, M. Bickermann, M. Kolbl, P.J. Wellmann, A. Winnacker. Mater. Sci. Eng. B, 61- 62, 48 (1999)
  6. E. Schmitt, T. Straubinger, M. Rasp, M. Vogel, A. Wohlfart. J. Cryst. Growth, 310, 966 (2008)
  7. D. Hofmann, M. Bickermann, R. Eckstein, M. Kolbl, St.G. Muller, E. Schmitt, A. Weber, A. Winnacker. J. Cryst. Growth, 198/ 199, 1005 (1999)
  8. H. Shiomi, H. Kinoshita, T. Furusho, T. Hayashi, M. Tajima, E. Higashi. J. Cryst. Growth, 292, 188 (2006)
  9. J. Li, O. Filip, B.M. Epelbaum, X. Xu, M. Bickermann, A. Winnacker. J. Cryst. Growth, 308, 41 (2007)
  10. Y. Shishkin, O. Kordina. J. Cryst. Growth, 291, 317 (2006)
  11. H.-J. Rost, M. Schmidbauer, D. Siche, R. Fornari. J. Cryst. Growth, 290, 137 (2006)
  12. Д.А. Авров, А.В. Булатов, С.И. Дорожкин, А.О. Лебедев, Ю.М. Таиров. ФТП, 42, 1483 (2008)
  13. D. Nakamura. Mater. Sci. Forum, 527- 529, 3 (2006)
  14. P. Pirouz. Phil. Mag. A, 78, 727 (1998)
  15. E.K. Sanchez, J.Q. Liu, M. De Graf, M. Skowronski, W.M. Vetter, M. Dudley. J. Appl. Phys., 91, 1143 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.