"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Комплексная диагностика гетероструктур с квантово-размерными слоями
Конников С.Г.1, Гуткин А.А.1, Заморянская М.В.1, Попова Т.Б.1, Ситникова А.А.1, Шахмин А.А.1, Яговкина М.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.

Возможности комплексной диагностики сложных квантово-размерных гетероструктур на основе соединений AIIIBV, используемых для создания мощных лазеров, продемонстрированы на примере структур с квантовой ямой GaInP/GaAs/AlGaAs, выращенных эпитаксией из металлорганической газовой фазы. Исследования спектров катодолюминесценции позволили оценить состав барьерных слоев, подтвердить существование квантовой ямы и обнаружить аномалии в их излучении, связанные с изменением состава. При изучении структур в просвечивающем электронном микроскопе были определены толщина барьерных слоев, ширина и состав квантовой ямы, а также обнаружены переходные слои вблизи интерфейсов. Точное определение состава барьерных слоев было выполнено методом рентгеноспектрального микроанализа. Полученные величины параметров использовались при интерпетации данных рентгеновской дифракции, которые подтвердили существование переходных областей и обнаружили градиенты состава и частичную релаксацию в основной части слоев. Результатом проведенных комплексных исследований явились взаимосогласованные и обоснованные данные о составе и толщине слоев, а также данные о качестве интерфейсов, частичной релаксации слоев, существовании переходных слоев и градиентов состава. PACS: 68.35.bj, 68.65.Fg, 68.35.Ct, 78.60.Hk, 68.37.-d, 61.05.cp, 81.07.St
  1. А.В. Мурашова, Д.А. Винокуров, Н.А. Пихтин, С.О. Слипченко, В.В. Шамахов, В.В. Васильева, В.А. Капитонов, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, Т.А. Налет, Д.Н. Николаев, А.Л. Станкевич, Н.В. Фетисова, И.С. Тарасов, Y.S. Kim, D.H. Kang, C.Y. Lee. ФТП, 42 (7), 882 (2008)
  2. В.В. Безотосный, В.В. Васильева, Д.А. Винокуров, В.А. Капитонов, О.Н. Крохин, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, А.В. Мурашова, Т.А. Налет, Д.Н. Николаев, Н.А. Пихтин, Ю.М. Попов, С.О. Слипченко, А.Л. Станкевич, Н.В. Фетисова, В.В. Шамахов, И.С. Тарасов. ФТП, 42 (3), 357 (2008)
  3. T. Nittono, S. Sugitani, F. Hyuda. J. Appl. Phys., 78 (9), 5387 (1995)
  4. K. Uchida, T. Arai, K Matsumoto. J. Appl. Phys., 81 (2), 771 (1997)
  5. X.B. Zhang, J.H. Ryou, R.D. Dupuis, G. Walter, N. Holanyak, jr. J. Electron. Mater., 35, 705 (2006)
  6. Q. Yang, D.A. Kellog, C. Lin, G.E. Stillman, N. Holonyak, jr. Appl. Phys. Lett., 75, 1101 (1999)
  7. I. Vurgaftman, J.R. Meyer, L.R. Ram-Mohan. J. Appl. Phys., 89 (11), 5815 (2001)
  8. Т.Б. Попова, Л.А. Бакалейников, М.В. Заморянская, Е.Ю. Флегонтова. ФТП, 42 (6), 686 (2008)
  9. Л.А. Бакалейников, Я.В. Домрачева, М.В. Заморянская, Е.В. Колесникова, Т.Б. Попова, Е.Ю. Флегонтова. ФТП, 43 (4), 568 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.