Влияние продолжительности процесса роста на свойства GaN, выращенного методом сублимации
Вольфсон А.А.1, Мохов Е.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.
Исследовалось изменение структурных и морфологических особенностей и люминесцентных характеристик толстых эпитаксиальных слоев GaN, выращенных сублимационным сандвичем-методом, в зависимости от длительности процесса кристаллизации. Для этого, в частности, использовалась сканирующая электронная микроскопия в режимах вторичных электронов и катодолюминесценции с реальным отображением цветовой информации. Было установлено, что за время около 1.5 ч могут быть выращены весьма совершенные слои GaN толщиной до 0.5 мм, поверхность которых практически не имеет люминесценции в видимой области спектра. Однако если увеличить длительность ростового процесса с целью получения слоев большей толщины, то наблюдается ухудшение качества выращиваемого кристалла, которое сопровождается усилением катодолюминесценции его приповерхностного слоя в видимой (преимущественно желтой) части спектра. Обсуждаются причины ухудшения качества слоев GaN в этом случае. Предполагается, что по мере снижения скорости испарения источника убывает количество активного азота вблизи ростовой поверхности. PACS: 81.05.Ea, 81.10.Bk, 78.60.Hk
- H. Morkoc, S. Strite, G.B. Gao, M.E. Lin, B. Sverdlov, M.J. Burns. J. Appl. Phys., 76, 1363 (1994)
- Ю.А. Водаков, М.И. Карклина, Е.Н. Мохов, А.Д. Роенков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 16, 537 (1980)
- Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, A.D. Roenkov, M.E. Boiko, P.G. Baranov. J. Cryst. Growth, 183, 10 (1997)
- G.V. Saparin, S.K. Obyden. Scanning, 10, 87 (1988)
- C. Wetzel, D. Volm, B.K. Meyer, K. Pressel, S.N. Nilson, E.N. Mokhov, P.G. Baranov. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 339, 453 (1994)
- M. Tchounkeu, O. Briot, B. Gil, G.P. Alexis, R.L. Aulombard. J. Appl. Phys., 80, 5352 (1996)
- P.G. Baranov et al. Mater. Res. Soc. Internet J. Nitrite Semicond. Res., 3, 50 (1998)
- S. Sakai, H. Sato, T. Suguhara, Y. Naoi, S. Kurai, K. Yamashita, S. Tottori, M. Hao, K. Wada, K. Nishino. Mater. Sci. Forum, 264-- 268, 1107 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.