"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние кристаллографической ориентации кремния на формирование кремниевых нанокластеров в процессе анодного электрохимического травления
Тимохов Д.Ф.1, Тимохов Ф.П.2
1Одесский национальный политехнический университет, U Одесса, Украина
2Одесский национальный университет им. И.И. Мечникова, U Одесса, Украина
Поступила в редакцию: 19 ноября 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.

Исследованы возможные пути повышения квантового выхода фотолюминесценции слоев пористого кремния. Изучено влияние параметров анодного электрохимического травления на фотолюминесцентные свойства слоев пористого кремния, полученных на подложках кремния с различной кристаллографической ориентацией. По спектрам фотолюминесценции пористого кремния рассчитаны средние диаметры нанокластеров кремния. Обнаружен эффект влияния кристаллографической ориентации исходной кремниевой подложки на квантовый выход фотолюминесценции пористого кремния. Предложен механизм влияния кристаллографической ориентации подложки на фотолюминесцентные свойства слоев пористого кремния, образующегося в процессе анодного электрохимического травления. PACS: 78.55.Mb, 61.46.Hk, 82.33.Ln
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990)
  2. R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., 71 (8), R1 (1992)
  3. P.M.M. Bressers, J.W.J. Knaper, E.A. Meulenkamp, J.J. Kelly. Appl. Phys. Lett., 61, 108 (1992)
  4. P.S. Searson, S.M. Prokes, O.J. Glembocki. J. Electrochem. Soc., 140, 3327 (1993)
  5. А.А. Евтух, Э.Б. Каганович, Э.Г. Манойлов, Н.А. Семенко. ФТП, 40, 180 (2006)
  6. D.F. Timokhov, F.P. Timokhov. MEE, 81, 288 (2005)
  7. X.S. Chen, J.J. Zhao, G.G. Wang. Phys. Lett. A, 212 (4), 285 (1996)
  8. A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D.J. Carlott. J. Appl. Phys., 82 (3), 909 (1997)
  9. J. Eddowes. J. Electroanal. Chem., 280, 297 (1990)
  10. D. Brumhead, L.T. Canham, P.M. Seekings, P.J. Tuflon. Electrochem. Acta, 38, 191 (1993)
  11. Д.Н. Горячев, Л.В. Беляков, О.М. Сресели. ФТП, 34, 1130 (2000)
  12. Y. Kanemitsu. Phys. Rev. B, 49 (3), 16 845 (1994)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.