Квантово-размерные гетероструктуры на основе AlGaN для светодиодов глубокого ультрафиолетового диапазона, полученные методом субмонослойной дискретной молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота
Жмерик В.Н.1, Мизеров А.М.1, Шубина Т.В.1, Сахаров А.В.1, Ситникова А.А.1, Копьев П.С.1, Иванов С.В.1, Луценко Е.В.2, Данильчик А.В.2, Ржеуцкий Н.В.2, Яблонский Г.П.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики им. Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 13 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2008 г.
Исследованы особенности молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота (МПЭ ПА) соединений AlGaN при относительно низких температурах подложки (до 740oC) и различных стехиометрических условиях роста: азот- и металлобогащенных. Впервые при МПЭ ПА наноструктур с квантовыми ямами (КЯ) AlxGa1-xN/AlyGa1-yN использована дискретная субмонослойная эпитаксия для формирования КЯ и электронных блокирующих слоев без изменения потоков компонентов. Исследованы структурные и оптические свойства слоев AlxGa1-xN в полном диапазоне составов (x=0-1) и наногетероструктур на их основе, демонстрирующих фотолюминесценцию при комнатной температуре с минимальной длиной волны 230 нм. На основании анализа спектров фотолюминесценции объемных слоев и наногетероструктур и их температурных зависимостей делается вывод о наличии локализованных состояний в КЯ. С использованием металлобогащенных условий роста на подложках c-Al2O3 получены гетероструктуры для светодиодов с КЯ AlxGa1-xN/AlyGa1-yN (x=0.4-0.5, y=x+0.15), демонстрирующие электролюминесценцию в ультрафиолетовой области излучения с длиной волны 320 нм. PACS: 85.35.Be, 81.15.Hi, 81.40.Tv, 78.67.De, 81.07.St, 68.43.Nr
- W.H. Sun, J.P. Zhang, V. Adivarahan, A. Chitnis, M. Shatalov, S. Wu, V. Mandavilli, J.W. Yang, M.A. Khan. Appl. Phys. Lett., 85, 531 (2004)
- J. Deng, Yu. Bilenko, A. Lunev, X. Hu, T.M. Katona, J. Zhang, M.S. Shur, R. Gaska. Jap. J. Appl. Phys., 46, L263 (2007)
- Y. Taniyasu, M. Kasu, T. Makimoto. Nature, 441, 325 (2006)
- G. Kipshidze, V. Kuryatkov, K. Zhu, B. Borisov, M. Holtz, S. Nikishin, H. Temkin. J. Appl. Phys., 93, 1363 (2003)
- A.V. Sampath, G.A. Garrett, C.J. Collins, W.L. Sarney, E.D. Readinger, P.G. Newman, H. Shen, M. Wraback. J. Electron. Mater., 35, 641 (2006)
- S. Nikishin, M. Holtz, H. Temkin. Jap. J. Appl. Phys., 44, 7221 (2005)
- В.В. Лундин, А.В. Сахаров, А.Ф. Цацульников, Е.Е. Заварин, А.И. Бесюлькин, А.В. Фомин, Д.С. Сизов. ФТП, 38, 705 (2004)
- F. Briones, L. Gonzfilez, A. Ruiz. Appl. Phys. A, 49, 729 (1989)
- S.V. Ivanov, O.V. Nekrutkina, S.V. Sorokin, V.A. Kaygorodov, T.V. Shubina, A.A. Toropov, P.S. Kop'ev, G. Reuscher, V. Wagner, J. Geurts, A. Waag, G. Landwehr. Appl. Phys. Lett., 78, 404 (2001)
- A. Kikuchi, M. Yoshizawa, M. Mori, N. Fujita, K. Kushi, H. Sasamoto, K. Kishino. J. Cryst. Growth, 189/190, 109 (1998)
- В.Н. Жмерик, А.М. Мизеров, Т.В. Шубина, С.Б. Листошин, С.В. Иванов. Письма ЖТФ, 33, 36 (2007)
- S.V. Ivanov, V.N. Jmerik, T.V. Shubina, S.B. Listoshin, A.M. Mizerov, A.A. Sitnikova, M.H. Kim, M. Koike, B.J. Kim, P.S. Kop'ev. J. Cryst. Growth, 301--302, 465 (2007)
- Физические величины. Справочник под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова (М., Энергоатомиздат, 1991)
- J.R. Jenny, J.E. Van Nostrand, R. Kaspi. Appl. Phys. Lett., 72, 531 (1998)
- L. He, M.A. Reshchikov, F. Yun, D. Huang, T. King, H. Morkoc. Appl. Phys. Lett., 81, 52 178 (2002)
- C.J. Collins, A.V. Sampath, G.A. Garrett, W.L. Sarney, H. Shen, M. Wraback, A.Yu. Nikiforov, G.S. Cargill III, V. Dierolf. Appl. Phys. Lett., 86, 31 916 (2005)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.