"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование влияния температуры крекинга мышьяка на эффективность его встраивания в пленки CdHgTe в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии
Сидоров Г.Ю.1, Михайлов Н.Н.1, Варавин В.С.1, Икусов Д.Г.1, Сидоров Ю.Г.1, Дворецкий С.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Пленки CdxHg1-xTe с x~0.22 толщиной ~10 мкм выращивались методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из арсенида галлия и легировались мышьяком в процессе роста. Активационный отжиг легированных пленок позволил получить p-тип проводимости с концентрацией дырок до 1017 см-3. Исследовано влияние температуры зоны крекинга источника мышьяка на эффективность встраивания мышьяка в пленку CdHgTe. Предложена модель, описывающая зависимость концентрации мышьяка в пленках от температуры зоны крекинга. Из сопоставления модели и экспериментальных данных следует, что эффективность встраивания двухатомного мышьяка примерно на 2 порядка выше, чем четырехатомного. PACS: 61.72.Vv, 72.80.Ey, 81.05.Dz, 81.15.Hi
  1. L.A. Almeida. J. Electron. Mater., 31 (7), 660 (2002)
  2. M. Boukerche, S. Sivananthan, P.S. Wijewarnasuriya, I.K. Sou, J.P. Faurie. J. Vac. Sci. Technol. A, 7, 311 (1989)
  3. S. Sivananthan, P.S. Wijewarnasuriya, F. Aqariden, H.R. Vydyanath, M. Zandian, D.D. Edwall, J.M. Arias. J. Electron. Mater., 26, 621 (1997)
  4. M.A. Kinch, F. Aqariden, D. Chandra, P.-K. Liao, H.F. Shaake, H.D. Shih. J. Electron. Mater., 34 (6), 880 (2005)
  5. A.C. Chen, M. Zandian, D.D. Edwall, R.E. De Wames, P.S. Wijewarnasuriya, J.M. Arias, S. Sivananthan, M. Berding, A. Sher. J. Electron. Mater., 27 (6), 595 (1998)
  6. C.H. Swartz, S. Chandril, R.P. Tompkins, N.C. Giles, T.H. Myers, D.D. Edwall, E.C. Piquette, C.S. Kim, I. Vurgaftman, J.R. Meyer. J. Electron. Mater., 35 (6), 1360 (2006)
  7. В.С. Варавин, С.А. Дворецкий, А.Э. Климов, В.Н. Шумский. Автометрия, N 4, 59 (1998)
  8. D.T.J. Hurle, J.B. Mullin. Proc. Int. Conf. Cryst. Growth (Boston, 1966) p. 241

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.