"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Краевой эффект при электрохимическом травлении кремния
Астрова Е.В.1, Нечитайлов А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.

На примере получения макропор в кремнии n- и p-типа проводимости анализируются особенности электрохимического травления вблизи границы, отделяющей область соприкосновения пластины с электролитом. Показано, что краевой эффект, заключающийся в ускоренном травлении кремния на краю с маской, зависит от геометрических параметров ячейки и имеет общие закономерности как при травлении n-Si с подсветкой обратной стороны пластины, так и при травлении p-Si без подсветки. Предлагаются методы устранения краевого эффекта. PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.-a, 82.45.Fk, 82.47.Gh
  1. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  2. V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Germany, Wiley--VCH, 2002)
  3. H. Foll, M. Christophersen, J. Carstensen, G. Hasse. Mater. Sci. Eng. R, 39, 93 (2002)
  4. A. Homa. Latest Developments and Performance of Silicon-Based DMFCs. Presentation at Small Fuel Cells Conference (April 3, 2006). www.neahpower.com
  5. L. Ohlsen. Extended Abstracts of the 4th Int. Conf. Porous Semiconductors --- Science and Technology (Cullera-Valenicia, Spain 14--19.03.2004), ed. by L. Canham, A. Nissiopoulou and V. Parkhutik, Abstract I-3
  6. D. Marsacq. A new generation of electrochemical microgenerators. http://www.cea.fr/gb/publications/Clefs50/pdf/ 094a095marsacq-gb.pdf
  7. В. Старков, А. Редькин, С. Дубонос. Письма ЖТФ, 32 (2), 67 (2006)
  8. Е.В. Астрова. Тез. докл. Росс. конф. "Физические проблемы водородной энергетики" (ФТИ им. А.Ф. Иоффе, СПб., 2004) с. 28
  9. M. Christophersen, P. Merz, J. Quenzer, J. Carstensen, H. Foll. Phys. Status Solidi A, 182 (1), 561 (2000)
  10. А.А. Нечитайлов, Е.В. Астрова. Письма ЖТФ, 33 (16), 19 (2007)
  11. Е.В. Астрова, А.Д. Ременюк, А.Г. Ткаченко, И.Л. Шульпина. Письма ЖТФ, 26 (24), 31 (2000).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.