"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности проявления акцепторного состояния золота в кремнии с термодонорами
Кирюхин А.Д.1, Григорьев В.В.1, Зуев А.В.1, Зуев В.В.1
1Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2007 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2008 г.

Исследовано влияние циклических термообработок и диффузии золота в кремний с врожденными термодонорами на электрофизические свойства материала. Анализ данных по медленному охлаждению и закалке позволяет сделать вывод о разном механизме трансформации термодоноров при закалке и многоциклической термообработке с медленным охлаждением, о двух разных акцепторных состояниях атомов золота. PACS: 66.30.Jt; 71.20.Mq; 71.55.-i; 72.20.Jv
  1. D.V. Lang, H.G. Grimmeis, E. Meijer, M. Jaros. Phys. Rev. B, 22 (7), 3917 (1982)
  2. V. Cazcarra, P. Zunino. J. Appl. Phys., 51 (8), 4206 (1980)
  3. C.Y. Kung, C.M. Liu, W. Hsu, R.H. Horng. J. Appl. Phys., 83 (1), 56 (1998)
  4. Ю.А. Быковский, Г.М. Воронкова, В.В. Григорьев, А.В. Зуев, В.В. Зуев, А.Д. Кирюхин. ФТП, 36 (7), 794 (2002)
  5. В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.Н. Головина, Е.А. Климанов, В.И. Фамицкий. ФТП, 16 (5), 892 (1982)
  6. V.V. Borimskii, K.D. Glinchuk, N.M. Litovchenko, Z.A. Salnik. Phys. Status Solidi A, 86, 623 (1984)
  7. Н.Ф. Ковтонюк, Ю.А. Концевой. Измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Металлургия, 1970) с. 70
  8. W. Lerch, N.A. Stolwijk. J. Appl. Phys., 83 (3), 1312 (1998)
  9. Y. Kamiura, Y. Takeuchi, Y. Yamashita. J. Appl. Phys., 87 (4), 1689 (2000)
  10. N.T. Bagraev, L.S. Vlasenko, A.A. Lebedev. Phys. Status Solidi A, 91, 165 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.