Особенности проявления акцепторного состояния золота в кремнии с термодонорами
Кирюхин А.Д.1, Григорьев В.В.1, Зуев А.В.1, Зуев В.В.1
1Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2007 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2008 г.
Исследовано влияние циклических термообработок и диффузии золота в кремний с врожденными термодонорами на электрофизические свойства материала. Анализ данных по медленному охлаждению и закалке позволяет сделать вывод о разном механизме трансформации термодоноров при закалке и многоциклической термообработке с медленным охлаждением, о двух разных акцепторных состояниях атомов золота. PACS: 66.30.Jt; 71.20.Mq; 71.55.-i; 72.20.Jv
- D.V. Lang, H.G. Grimmeis, E. Meijer, M. Jaros. Phys. Rev. B, 22 (7), 3917 (1982)
- V. Cazcarra, P. Zunino. J. Appl. Phys., 51 (8), 4206 (1980)
- C.Y. Kung, C.M. Liu, W. Hsu, R.H. Horng. J. Appl. Phys., 83 (1), 56 (1998)
- Ю.А. Быковский, Г.М. Воронкова, В.В. Григорьев, А.В. Зуев, В.В. Зуев, А.Д. Кирюхин. ФТП, 36 (7), 794 (2002)
- В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.Н. Головина, Е.А. Климанов, В.И. Фамицкий. ФТП, 16 (5), 892 (1982)
- V.V. Borimskii, K.D. Glinchuk, N.M. Litovchenko, Z.A. Salnik. Phys. Status Solidi A, 86, 623 (1984)
- Н.Ф. Ковтонюк, Ю.А. Концевой. Измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Металлургия, 1970) с. 70
- W. Lerch, N.A. Stolwijk. J. Appl. Phys., 83 (3), 1312 (1998)
- Y. Kamiura, Y. Takeuchi, Y. Yamashita. J. Appl. Phys., 87 (4), 1689 (2000)
- N.T. Bagraev, L.S. Vlasenko, A.A. Lebedev. Phys. Status Solidi A, 91, 165 (1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук