Оптические исследования пленок AlN/n-Si (100), полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Заяц Н.С.1, Бойко В.Г.1, Генцарь П.А.1, Литвин О.С.1, Папуша В.П.1, Сопинский Н.В.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 11 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.
Проведены морфологические и оптические (спектры отражения в диапазоне 200-750 нм, спектры пропускания в диапазоне 2-25 мкм, эллипсометрия) исследования пленок AlN толщиной 2-3 мкм, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления алюминиевой мишени в газовой смеси Ar и N2 (1 : 3) с осаждением на подложки из монокристаллического кремния n-Si (100) с удельным сопротивлением 20-60 Ом · см. Показано, что пленки являются плотными, прозрачными, аморфными с кристаллическими зернами и могут эффективно использоваться в тонкопленочной технологии для изготовления современных микро- и оптоэлектронных приборов. PACS: 73.61.Ey, 73.61.Jc, 78.40.Pg, 78.66.Fd
- П. Ю, М. Кардона. Основы физики полупроводников (М., Физматлит, 2002)
- Тез. лекций и докл. 3-й Росс. школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. " Кремний. Школа 2005" (М., МИСиС, 2005).
- А.А. Лебедев, В.Е. Челноков. ФТП, 33 (9), 1096 (1999)
- M.C. Luo, X.L. Wang, J.M. Li, H.X. Liu, L. Wang, D.Z. Sun, Y.P. Zeng, L.Y. Lin. J. Crys. Growth, 244, 229 (2002)
- H.-E. Cheng, T.-C. Lin, W.-C. Chen. Thin Sol. Films, 425, 85 (2003)
- M.A. Auger, L. Vazquez, M. Jergel, O. Sanchez, J.M. Albella. Surf. Coat. Technol., 180-181, 140 (2004)
- C.H. Lai, A. Chin, B.F. Hung, C.F. Cheng, W.J. Yoo, M.F. Li, C. Zhu, S.P. McAlister, D.-L. Kwong. IEEE Electron. Dev. Lett., 26 (3), 148 (2005)
- Т. Мосс, Г. Баррел, Б. Эллис. Полупроводниковая оптоэлектроника (М., Мир, 1976)
- V.Y. Davydov, Y.E. Kitaev, I.N. Goncharuk, A.N. Smirnov, J. Graul, O. Semchinova, A.P. Mirgorodsky, R.A. Evaretov. Phys. Rev. B, 58 (19), 12 899 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
