"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрофизические свойства слоев Si : Er/Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии
Белова О.В.1, Шабанов В.Н.1, Касаткин А.П.1, Кузнецов О.А.1, Яблонский А.Н.2, Кузнецов М.В.1, Кузнецов В.П.1, Корнаухов А.В.1, Андреев Б.А.2, Красильник З.Ф.2
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 4 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.

Температурные зависимости концентрации и холловской подвижности электронов в эпитаксиальных слоях Si : Er/Sr исследовались после их выращивания при T=600oC и отжига при 700 и 900oC. Слои осаждались методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии в вакууме ~ 10-5 Па. Энергетические уровни донорных центров, связанных с Er, расположены на глубине 0.21-0.27 эВ от дна зоны проводимости Si. В интервале 80-300 K холловская подвижность электронов в неотожженных эпитаксиальных слоях Si : Er была в 3-10 раз меньше подвижности в монокристаллах Cz-Si. После отжига слоев доля рассеяния электронов на донорных центрах Er заметно уменьшается. PACS: 73.20 Hb, 73.40.Lg, 78.60.Fi, 85.30.Kk
  1. В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова. ФТП, 34, 519 (2000)
  2. M.V. Stepikhova, B.A. Andreev, V.B. Shmagin, Z.F. Krasil'nik, V.P. Kuznetsov, V.G. Shengurov, S.P. Svetlov, W. Jantsch, L. Palmetshofer, H. Ellmer. Thin Sol. Films, 381 (1), 164 (2001)
  3. В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова, В.Н. Шабанов, А.П. Касаткин, С.В. Седова, Г.А. Максимов, З.Ф. Красильник, Е.В. Демидов. ФТТ, 47, 99 (2005)
  4. D. Prezzi, T.A.G. Eberlein, R. Jones, J.S. Filhol, J. Coutinho, M.J. Shaw, P.R. Briddon. Phys. Rev., 71, 245 203 (2005)
  5. В.В. Емцев, В.В. Емцев (мл.), Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шеек, Й. Михель, Л.С. Кимерлинг. ФТП, 33 (6), 649 (1999)
  6. A.A. Prokofiev, I.N. Yassievich, H. Vrielinck, T. Gregorkiewicz. Phys. Rev., 72, 045 214 (2005)
  7. C.A.J. Ammerlaan, D.T.X. Thao, T. Gregorkiewicz, B.A. Andreev, Z.F. Krasil'nik. Sol. St. Phenomena, 70, 359 (1999)
  8. S. Scalese, G. Franzo, S. Mirabella, M. Re, A. Terrasi, F. Priolo, E. Rimini, C. Spinella, A. Carnera. J. Appl. Phys., 88 (7), 4091 (2000)
  9. Дж. Блекмор. Статистика электронов в полупроводниках (М., Мир, 1964) с. 91
  10. D. Long, J. Myers. Phys. Rev., 115 (5), 1107 (1959)
  11. В.П. Кузнецов, Д.Ю. Ремизов, В.Н. Шабанов, Р.А. Рубцова, М.В. Степихова, Д.И. Крыжков, А.Н. Шушунов, О.В. Белова, З.Ф. Красильник, Г.А. Максимов. ФТП, 40, 868 (2006)
  12. C. Erginsoy. Phys. Rev., 79, 1013 (1950)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.